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于威; 王保柱; 杨彦斌; 路万兵; 傅广生;
河北大学物理科学与技术学院,保定,071002;
光学发射谱; 螺旋波等离子体化学气相沉积; 纳米硅薄膜;
机译:螺旋波等离子体增强化学气相沉积法制备纳米晶碳化硅薄膜
机译:螺旋波等离子体增强化学气相沉积法沉积发光纳米晶碳化硅薄膜
机译:磁场对螺旋波等离子体化学气相沉积法沉积纳米晶硅薄膜结构和光学性能的影响
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:低温下类二氧化硅薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化低温下类石英薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化
机译:微波 - 等离子体化学气相沉积碳纳米管的电子发射
机译:低温多晶硅薄膜的组成及其在低温下的直接淀积和电感耦合等离子体化学气相沉积设备制造多晶硅薄膜的方法
机译:等离子体化学气相沉积形成开放结构碳纳米管场发射体的方法
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