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朱晓东; 温晓辉; 周海洋; 詹如娟;
中国科学技术大学结构成分分析实验室;
中国科学技术大学近代物理系;
电子温度; 电子密度; 金刚石薄膜; 等离子体化学气相沉积; 光发射谱; 朗谬尔探针原位诊断; 生长机理;
机译:在金刚石化学气相沉积相关条件下,在金刚石化学气相沉积的条件下运行的微波激活氢等离子体的空间附加光发射和建模研究
机译:分子束质谱研究金刚石在微波等离子体辅助化学气相沉积过程中发生的气相化学
机译:使用扫描探针测量的等离子体增强化学气相沉积金刚石状碳膜的场发射特性
机译:通过改进的微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石工艺制造的薄膜冷阴极材料的生长,表征和电子场发射测量。
机译:使用He / H2 / CH4 / N2气体混合物通过微波等离子体化学气相沉积法合成超光滑纳米结构金刚石膜
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:化学气相沉积反应器通过微波等离子体化学气相沉积生长金刚石膜
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积沉积的化学气相沉积在高温下的高温等离子体生长高同质金刚石薄膜沉积
机译:通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的方法和通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的设备
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