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直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量

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《物理学报》 |1990年第12期|1965-19691965a|共6页
作者
张仿清; 张亚非; 杨映虎; 李敬起; 陈光华; 蒋翔六;
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