机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积法在聚碳酸酯上沉积SiO_x掺杂的类金刚石碳膜的粘附性能
机译:射频等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅和类金刚石碳膜的光学性能随沉积时间的变化
机译:类金刚石碳膜的射频感应耦合等离子体增强化学气相沉积工艺的优化
机译:等离子体处理对电感耦合等离子体化学气相沉积沉积低介电常数氟化非晶碳膜结构和电性能的影响
机译:通过等离子体辅助化学气相沉积制备的类金刚石碳膜的热降解和摩擦学行为。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:等离子体辅助化学气相沉积在丙烯酸橡胶上沉积类金刚石碳膜的微观结构和摩擦控制