薄膜测量与分析属于《中国图书分类法》中的五级类目,该分类相关的期刊文献有925篇,会议文献有115篇,学位文献有129篇等,薄膜测量与分析的主要作者有徐均琪、孙会元、黄宁康,薄膜测量与分析的主要机构有中国科学院、中国工程物理研究院、河北师范大学物理科学与信息工程学院等。
统计的文献类型来源于 期刊论文、 学位论文、 会议论文
1.[期刊]
摘要: 人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步,并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破。本文介绍了人工合成金刚石技术,详细分析了几种主要化学气相沉积方法的...
2.[期刊]
摘要: 透明导电氧化物(TCO)薄膜因其兼具透明和导电的特性,被广泛应用于各个领域中。氧化铟(In_(2)O_(2))基TCO薄膜,因其高透明度、低电阻率、高迁移率和...
3.[期刊]
摘要: 背散射分析是一种定量的、对重元素敏感的离子束分析技术,用于分析固体材料的近表面区域.简述了背散射分析的基本原理、实验装置及具体实验过程,详述了SIMNRA软件...
4.[期刊]
摘要: 为了分析溶胶-凝胶法制备的TiO_(2)薄膜的光学常数,采用旋涂法制备了多层TiO_(2)薄膜,利用扫描电镜对表面形貌进行了分析,利用椭圆偏振光谱对薄膜的折射...
5.[期刊]
摘要: 具有大尺度无缺陷垂直孔道的介孔二氧化硅薄膜在生物材料、电化学和光学传感器中具有重要应用价值。本文采用电化学辅助自组装(EASA)工艺制备大面积(5×5 cm^...
6.[期刊]
摘要: 原子层沉积(ALD)是一种新兴的薄膜沉积技术,其最主要的优势在于可在高深宽比的结构上沉积均匀致密的纳米薄膜,因此在微电子、纳米科技等领域中具有广泛的应用.纳米...
7.[期刊]
摘要: 为在光学元件表面涂覆特定膜厚且均匀性好的SiO_(2)溶胶凝胶增透膜,使用自研的弯月面涂胶机在200 mm×200 mm的熔石英平板上进行SiO_(2)溶胶凝...
8.[期刊]
摘要: 本文利用透射电子显微镜原位加热技术研究了高温下SiOx材料的结构演化行为,并通过EELS谱分析了SiOx材料结构的化学组成变化.研究结果表明:在高温作用下,电...
9.[期刊]
摘要: 文章利用前驱体法和流延成型法先后制备了具有纯铌铁矿相结构MgNb2O6前驱体以及纯钙钛矿相的0.655Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.345PbTiO3...
10.[期刊]
溅射叠层金属前驱体-硫化法制备Cu2SnS3薄膜综合实验设计
摘要: 利用磁控溅射法在玻璃基片上依次沉积Sn/Cu叠层前驱体并将前驱体在H2S:N2气氛中硫化制备Cu2SnS3薄膜.分利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、扫描隧道显微镜...
11.[期刊]
摘要: 以醋酸锌和二乙醇胺为原料,在异丙醇体系中成功合成ZnO稳定溶胶,采用提拉法在石英基底上沉积ZnO薄膜,经450℃热处理后得到晶化ZnO薄膜.采用傅里叶变换红外...
12.[期刊]
摘要: 作为空间红外相机上的关键部件,微型集成滤光片得到越来越广泛的应用.由于制作工艺复杂,加上探测器内部工作条件极为苛刻,滤光片在使用中经常出现诸多问题.为了在地面...
13.[期刊]
摘要: 在流体力学实验中,平面流动皂膜得到大量应用(如用于模拟两维湍流流动或超声速流动),对皂膜的测量手段也得到了极大发展,但对流动皂膜特性参数的测量尚有可提高之处....
14.[期刊]
摘要: 本文简要介绍了在上海交通大学低维物理与界面工程实验室对表面吸附有K原子的多层FeSe薄膜所做的充分的实验研究,旨在理解铁基高温超导体的性质.由于碱金属原子电负...
15.[期刊]
摘要: 为了制备满足超高分辨率射线探测要求的超导转变边界探测器,对制备的Mo薄膜和Mo/Cu薄膜表征了其超导电学特性.结果 表明,制备的Mo薄膜具有较好的超导性能,M...
16.[期刊]
摘要: 以精密阻抗分析仪、可编程直流稳压电源和亥姆霍兹线圈为基础仪器,基于LabVIEW虚拟仪器技术开发了GMI自动测量和数据自动处理系统.该测量系统的优点是自动采集...
17.[期刊]
摘要: 利用磁控溅射法在玻璃基片上沉积Sn/Cu叠层前驱体并将前驱体在H2S:N2气氛中硫化制备Cu2SnS3薄膜.制备出Cu/Sn原子比不同的薄膜样品,利用X射线衍...
18.[期刊]
摘要: 采用脉冲激光沉积技术,在(110)和(100)两种晶向的钛酸锶(SrTiO3)衬底上,先后异质外延生长钌酸锶(SrRuO3)氧化物底电极和铁酸铋(BiFeO3...
19.[期刊]
摘要: 磁性材料可在无磁场条件下实现对非磁性半导体的自旋注入,实现电子学、光子学和磁学三者的最终融合,从而提升现有器件的功能.首先利用分子束外延技术在新鲜解离的BaF...
20.[期刊]
摘要: 目的研究分析等离子辅助原子层沉积技术(ALD)技术在PET表面上沉积超薄Al_(2)O_(3)阻隔层的工艺优化。方法采用单因素结合响应面设计试验法,对Al_(...
1.[会议]
摘要: 本文研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术,搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明,该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响,测量精度达到干涉...
2.[会议]
摘要: 本文在Mo底衬上制备了约5μm的3个TiDxTy样品,用质子背散射(PBS)法分析了D、T在Ti膜中的深度分布,其中,T的分析能得出较为准确的结果,而D的分析...
3.[会议]
摘要: 本文利用能谱分析技术和牛津薄膜分析软件ThinFilmID对几种薄膜电子材料的厚度和成份进行了分析;分析结果与SEM断面测量,X射线荧光测厚和偏光干涉测厚测量...
4.[会议]
摘要: 以铁磁—顺磁的相变为例,用Landau相变理论分析三维各向异性。薄膜样品存在垂直于膜面方向的单向各向异性的情况,自由能的幂级数展开的三次幂项是导出自发磁化交换...
5.[会议]
摘要: 在光谱椭偏测量中,玻璃基底的背反射会给椭偏测量造成较大影响,针对平板显示器件玻璃基底表面氮化硅镀膜进行了椭偏测量和模型计算,讨论了玻璃基底中非相干背反射以及薄...
6.[会议]
摘要: 近来,文献中提出了可以通过测量双层膜在软基底上失稳的失稳稳波长反演薄膜的弹性模量。本文采用理论分析和有限元模拟研究这项技术。我们的结果表明,当在双层膜系统施加...
7.[会议]
摘要: 扫描探针声显微镜(SPAM)是一种新型材料性能检测工具,它可以同时地原位地对试样表面和亚表面进行成像,采用不同的探针可探测纳米尺度下材料的各种特性。本文基于扫...
8.[会议]
摘要: 溅射深度剖析现己成为测量材料表层及薄膜中元素成分分布的一种常规技术,对其工作参数的研究是其发展迅速的重要原因.本文在介绍射频辉光放电光谱仪的溅射和自偏压产生原...
9.[会议]
摘要: 薄膜厚度的精确测量有助于研究薄膜的物理性能。本文利用α射线与材料的相互作用设计测量薄膜厚度的方法。用SRIM软件模拟计算了α粒子在Au膜和核乳胶中的运动,对A...
10.[会议]
摘要: 薄膜损伤阈值是薄膜抗强激光作用的关键参数,而衰减系统输出能量决定了入射到样片表面的能量,衰减系统输出能量的测试精度直接决定了激光薄膜损伤阈值测试结果及其测试精...
11.[会议]
摘要: 采用UMT摩擦学测试系统考察了氧化铬陶瓷薄膜/Si3N4摩擦副在干摩擦和水润滑下的摩擦学性能,通过对磨损表面形貌和磨痕表面的X射线能谱及二次离子质谱分析,探讨...
12.[会议]
摘要: 文章利用肥皂膜的等厚干涉原理,研究了竖直面内肥皂膜条纹位置及薄膜厚度的分布规律,结果发现竖直面内肥皂膜的厚度为微米和亚微米量级,其分布随着成膜时间的变化而变化...
13.[会议]
摘要: 肥皂泡、肥皂膜是我们生活及科研中常见的一种薄膜材料,但是它极不稳定、触手即破,而且肥皂膜的膜厚、质量、体积的数量级都很小,这两方面的因素使得常规条件下精确测量...
14.[会议]
摘要: 本文采用射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)方法,以溴乙烷(C2H5Br)为单体,氢气(H2)为载气,室温条件在硅片、石英衬底上生长了掺溴非晶碳氢...
15.[会议]
摘要: 本文以相移干涉技术和原子力显微镜对纳米量级厚度金属薄厚的测量结果为研究对象,分析了不同厚度的AL,Au薄膜表面反射光的相位变化量,获得了相位变化量随薄膜厚度变...
16.[会议]
NdNiO3薄膜应力的X射线衍射分析及其对金属-绝缘体相变影响规律的研究
摘要: 由于钙钛矿结构镍酸盐RNiO3(R为除La以外的稀土元素)所具有的快速金属。绝缘体相变在热致变色节能智能窗领域具有极大的应用潜力,因此广泛受人关注。怎样在设定...
17.[会议]
摘要: 掠入射X射线衍射(GIXRD)技术是一种新颖的测试技术,它是指以测试时X射线以很小角度入射到样品表面,几乎与样品平行。测试时入射角不变,探测器在大角区扫描测量...
18.[会议]
摘要: 本文介绍利用红外光谱仪测量薄膜红外波段折射率的方法.在红外光线透过薄膜时,发生等倾干涉,这将导致红外吸收谱基线的波动.通过测量红外透射谱基线波动规律,根据薄膜...
19.[会议]
摘要: 本文介绍一种简单的测量肥皂膜厚度的方法,利用物理实验室中的常用仪器,通过巧妙测量肥皂泡的质量、密度和体积,准确测定出了肥皂膜的厚度.
20.[会议]
摘要: 将旋涂制备的薄膜在120℃下退火,得到α相的聚辛基芴薄膜,用吸收光谱和荧光光谱进行了验证.用同步辐射一维和二维掠入射X射线衍射对薄膜进行了结构表征,结果表明,...
1.[学位]
摘要: 高温超导薄膜由于其微波表面电阻小,在微波无源器件中有着广泛的应用前景。尽管如此,目前可以进行测试高温超导薄膜微波表面电阻分布的装置存在着分辨率与通用性不兼容的...
2.[学位]
摘要: 薄膜材料独特的光学、力学、电磁学特性,使其在工程领域内被广泛应用。电沉积法作为一种制备薄膜的常用方法,需要高质量的表面作为衬底,且衬底的表面对薄膜质量有重要影...
3.[学位]
摘要: 色散补偿薄膜在超快激光系统中可实现精确的色散补偿,相比于光栅对、棱镜对等传统色散补偿方式有着明显的优点。随着商业化薄膜设计软件和离子辅助沉积镀膜技术的发展,目...
4.[学位]
摘要: 有机薄膜作为一种新型的材料结构,在能源、通信、信息等领域获得了极大地关注。随着有机薄膜器件的快速发展,无论是科学上的机理研究还是工业上的工艺优化,对有机薄膜原...
5.[学位]
摘要: 随着微纳制造技术的发展,微结构测试尤其是表面形貌测试、薄膜厚度测试已成为当前微纳米测量技术的重要方向之一。表面形貌是否符合预定标准在一定程度上会影响整个微纳器...
6.[学位]
摘要: 薄膜厚度是衡量薄膜质量的主要指标。目前薄膜种类越来越多,薄膜产品正朝着高精度方向发展。针对现有薄膜厚度测量方法难以实现大厚度薄膜测量、成本高等问题。本文利用光...
7.[学位]
摘要: 随着微波技术的日益发展,微波材料已广泛应用于多个领域,如能源、通信、生物医药、电子等。电子元器件的发展越来越趋于集成化和薄膜化,新型功能性薄膜材料正在广泛地研...
8.[学位]
摘要: 高温超导材料的微波非线性特性一方面限制了高温超导微波器件在高功率环境中的应用,另一方面又是研制高温超导微波非线性器件的基础。因此对高温超导材料的微波非线性特性...
9.[学位]
摘要: 在薄膜技术中,薄膜厚度对薄膜的性质有着关键性的影响,它与薄膜的电磁性能、力学性能以及光学性能都有着密切的联系,这也使得薄膜厚度检测愈来愈受到重视。薄膜包衣技术...
10.[学位]
摘要: 在一些需要良好低本底环境的高能物理研究中,氡是是探测误差的主要来源,实验室一般会设置一层薄膜来屏蔽氡对探测器的影响。我国江门中微子实验室为精确测量反应堆中微子...
11.[学位]
摘要: 相对其他测量等离子体方法,等离子体光谱可以实时在线测量沉积金刚石过程中等离子体参数及相关基团的分布,具有明显的优势。本文利用发射光谱对微波等离子体化学气相沉积...
12.[学位]
摘要: 在薄膜生产和加工中,实现对薄膜厚度在线精确测量,对控制薄膜产品的精度和降低成本,有着非常重要的意义。本文通过一种基于红外线的薄膜厚度测量技术,实现对薄膜厚度实...
13.[学位]
摘要: 微波介电谱测量技术是一种基于微波与物质材料相互作用的测量技术。该测量技术具有非接触测量,信号采集速度快和测量时间分辨高等优点。因此,微波介电谱测量技术在光电功...
14.[学位]
摘要: 自1970年代以来,由于真空技术的突破,结合离子溅射和表面元素成分分析技术,诸如二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,...
15.[学位]
摘要: 随着激光技术的发展和高功率激光的广泛应用,给光学薄膜的发展带来了新的挑战。光学薄膜的吸收损耗是影响薄膜性能的重要参数,已成为限制高功率激光技术发展的一个重要因...
16.[学位]
摘要: 光学薄膜吸收损耗的存在不仅会影响薄膜的光学性能,更会造成激光在薄膜内的热沉积。尤其是在高功率激光系统中,即使十分微弱的吸收也会给薄膜元件带来灾难性的破坏。因此...