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朱新丰; 曲鹏; 彭晓晗; 杨冰; 张美玉; 刘晓林;
北京化工大学 有机无机复合材料国家重点实验室 北京 100029;
无机/有机介电复合材料; 有限元法; 填料形貌; 介电常数; 电场分布;
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机译:用于无机气凝胶和接枝到无机材料上的有机填料的集成电路的低介电常数复合膜及其制造方法
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