Research Laboratory of Electronics Massachusetts Institute of Technology Cambridge MA rmenon@nano.mit.edu;
Department of Electrical Engineering and Computer Science Massachusetts Institute of Technology Cambridge MA;
Research Laboratory of Electronics Massachusetts Institute of Technology Cambridge MA Department of Electrical Engineering and Computer Science Massachusetts Institute of Technology Cambridge MA;
机译:使用空间光调制器进行无掩模光刻的光学图案生成
机译:使用空间光调制器进行无掩模光刻的光学图案生成
机译:用于无掩模光学投影光刻的空间光调制器
机译:使用基于MEMs的空间光调制器进行无掩模光学光刻
机译:空间光调制器,用于相干通信,自适应光学和无掩模光学光刻中。
机译:快速声光雕刻用于按需非掩模光刻
机译:MEMS光屏蔽光刻的空间光调制器
机译:用于可信赖的microchip生产的无掩模电子束光刻。