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机译:MEMS光屏蔽光刻的空间光调制器
V.A. Aksyuk; D. López; G.P. Watson; M.E. Simon; R.A. Cirelli; F. Pardo; F. Klemens; A.R. Papazian; C. Bolle; J.E. Bower; E. Ferry; W.M. Mansfield; J. Miner; T.W. Sorsch; D. Tennant;
机译:使用空间光调制器进行无掩模光刻的光学图案生成
机译:用于无掩模光学投影光刻的空间光调制器
机译:使用基于MEMs的空间光调制器进行无掩模光学光刻
机译:空间光调制器,用于相干通信,自适应光学和无掩模光学光刻中。
机译:LBL纳米复合薄膜的直接写入无掩模光刻及其对MEMS技术的前景
机译:包含照明系统,空间光调制器,曝光系统和光束分离器以及空间光调制器的无光刻术的投影光束系统
机译:在无掩模光刻中用于照明反射型空间光调制器的光学系统和方法
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