Department of Materials Science and Engineering;
Department of Chemical Engineering, Stanford University, Stanford, CA, USA 94305-5025;
机译:钌钛氮化钛/介电纳米图钌的区域选择性原子层沉积中的缺陷缓解
机译:使用喷墨印刷的氟碳图案作为掩模层的区域选择性原子层沉积
机译:多层与单层十二烷硫醇对面积选择原子层沉积选择性和图案完整性的影响
机译:用于Cu /低k电介质图案的介电对电介质的区域选择性原子层沉积
机译:了解基于抑制剂的区域选择性原子层沉积,用于介电介电生长
机译:二维区域选择性原子层沉积WS2纳米层
机译:通过电液动力喷射印刷图案化的区域选择性原子层沉积,用于功能材料和装置的添加剂制造