机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:集成的等温原子层沉积/原子层蚀刻超细,用于TiO2的区域选择性沉积
机译:多层与单层十二烷硫醇对面积选择原子层沉积选择性和图案完整性的影响
机译:面积选择性沉积通过有机膜钝化和原子层沉积的组合
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:从下至上:朝区域选择原子层高选择性沉积
机译:二维WS2纳米层的区域选择性原子层沉积
机译:用原子层沉积法制备具有超薄纳米层的纳米层:成核和生长问题