机译:从自下而上的:朝向区域选择性原子层沉积,具有高选择性
机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:集成的等温原子层沉积/原子层蚀刻超细,用于TiO2的区域选择性沉积
机译:(邀请的)锰氧化物对金属介电图案的区域选择性原子层沉积
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:三维区域选择性原子层沉积在选择性涂覆立式纳米柱的垂直表面中的应用
机译:从自下而上的:朝向区域选择性原子层沉积,具有高选择性