National University of Defense Technology,Changsha,Hunan,China;
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TMAH:Anisotropic etching:Corner compensation:MEMS;
机译:在25 wt%TMAH水溶液中的(100)硅基板上的无掩模凸角补偿技术
机译:使用25 wt%TMAH的CMOS兼容体微加工角补偿结构的实验研究和分析
机译:在(100)硅晶片上进行各向异性KOH蚀刻的凸角补偿的简单方法
机译:(100)硅晶片25%WT TMAH蚀刻锥补偿的设计与实证研究
机译:晶圆上电互连和使用晶圆硅刻蚀的微型悬臂阵列。
机译:Si结晶平面的演变-在25 wt%TMAH中蚀刻正方形和圆形图案
机译:Si晶体平面的演化 - 蚀刻正方形和圆形图案中的25wt%TMAH
机译:在硅晶片的湿化学蚀刻中保护芯片角的技术