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MEMS/NEMS nano technology.

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1.Analysis of Capillary Condensation of Vapor in Multi-wall Carbon Nanotubes

机译：多壁碳纳米管中蒸汽的毛细管冷凝分析
- 作者：Wei Wang;Xin Wang;Tuo Li;Weiping Chen
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Multi-wall Carbon Nanotubes:Capillary Condensation:Quartz Crystal;
2.Three-dimensional visual measurement for MAV aerodynamic shape based on stroboscopic imaging technique

机译：基于频闪成像技术的MAV空气动力学形状的三维视觉测量
- 作者：Yu Yanan;Wang Xiangjun
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Aerodynamic shape:binocular vision measurement:stroboscopic imaging technique:SIFT;
3.Multidisciplinary Design Optimization of the 2-D Microaccelerometer

机译：二维微加速度计的多学科设计优化
- 作者：Yu Liu;Zhiyu Wen;Li Chen;Hongyun Yang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:2-D accelerometer:multidisciplinary design optimization:genetic algorithm;
4.The Humidity Effect on Self-heated Surface Micromachined Polysilicon Resistor

机译：湿度对自加热表面微加工多晶硅电阻的影响
- 作者：M. HongYu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Humidity:Polysilicon:Thermal conductivity;
5.Effect of Temperature on Size-dependent Elasticity of Silicon Nanowires

机译：温度对硅纳米线尺寸依赖性弹性的影响
- 作者：Jing Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Nanowire:Young's modulus:Temperature;
6.Optimization of Pressure Sensors Fabrication Processes with SOI and Bonding Technology

机译：利用SOI和键合技术优化压力传感器制造工艺
- 作者：Gujin Miao;Zhaohua Zhang;Tao Chen;Tianling Ren;Huiwang Lin;Litian Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Pressure Sensor:SOI:Silicon Direct Bonding;
7.A Broadband Frequency Piezoelectric Vibration Energy Harvester

机译：宽带频率压电振动能量采集器
- 作者：MA Hua-An;LIU Jing-Quan;TANG Gang;YANG Chun-Sheng;LI Yi-Gui;He Dan-Nong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Piezoelectric cantilever:vibration:energy harvesting:broadband:permanent magnet;
8.Numerical Simulation of Electromagnetic Actuator for Impedance Pumping

机译：阻抗泵电磁致动器的数值模拟
- 作者：Chia-Yen Lee;Yao-Nan Wang;Chien-Hsiung Tsai;Chang-Hsien Tai;Chin-Lung Chang;Lung-Ming Fu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Electromagnetic actuator:Impedance pump:Magnetic PDMS diaphragm:MEMS;
9.Design and Empirical Study for Corner Compensation in 25 wt TMAH Etching on (100) Silicon Wafers

机译：（100）硅片上25％wt TMAH蚀刻中角补偿的设计和实证研究
- 作者：ZhengYi Niu;XueZhong Wu;PeiTao Dong;DingBang Xiao;ZhanQiang Hou
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- TMAH:Anisotropic etching:Corner compensation:MEMS;
10.Fabrication and performance of piezoelectric MEMS generators using bulk PZT films

机译：使用块状PZT膜的压电MEMS发生器的制造和性能
- 作者：Gang Tang;Jing-quan Liu;Ci-hang Zheng;He-sheng Liu;Yi-gui Li;Chun-sheng Yang;Dan-nong He
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Piezoelectric power generator:MEMS:Bulk PZT film:Energy harvesting;
11.The Design of AlGaN/GaN HEFT-micro-accelerometer and Temperature dependence Electrical Performance

机译：AlGaN / GaN HEFT微加速度计的设计及其与温度的关系
- 作者：Ting LIANG;Jianjun TANG;Jijun XIONG;Yong WANG;Jing LI;Chenyang XUE;Wendong ZHANG
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- GaN:HEFT:temperature-dependence:I-V characteristic:gravity;
12.Growth Mechanism, Structural Regulation and Functionalization of Carbon-based Nanotubes

机译：碳基纳米管的生长机理，结构调控和功能化
- 作者：Zheng Hu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Carbon nanotubes:Growth mechanism:Doping:Functionalization;
13.A MEMS Fluid Density Sensor Based on Trapezoidal Cantilever

机译：基于梯形悬臂的MEMS流体密度传感器
- 作者：Libo Zhao;Enze Huang;Guiming Zhang;Zhuangde Jiang;Zhigang Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- trapezoidal cantilever:rectangular cantilever:MEMS:density sensor;
14.An approach to improve the mechanical stability of vacuum silicon microgyroscope

机译：一种提高真空硅微陀螺仪机械稳定性的方法
- 作者：Xiaoying Li;Qiang Shen;Honglong Chang;Feng Xue
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Vacuum silicon microgyroscope:Mechanical stability:Mode separation:Packaging pressure;
15.Low Cost Fabrication of Micro Glass Cavities For MEMS Wafer Level and Hermetic Packaging

机译：低成本制造用于MEMS晶圆级和密封包装的微玻璃腔
- 作者：Jintang Shang;Jieying Tang;Di Zhang;Boyin Chen;Chao Xu;Junwen Liu;Qing-An Huang;Xinhu LUO;Hui Yu;Jingdong Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- CSMNT:Guidance:Format;
16.Improved PLLA micro structures roughness through combining X-ray radiation with special development techniques

机译：通过将X射线辐射与特殊开发技术相结合来改善PLLA微结构的粗糙度
- 作者：Yigui Li;Chunsheng Yang;Jingquang Liu;Van Thanh Dau;Susumu Sugiyama
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- PLLA:polymer:radiation:developer:biodegradation;
17.Fabrication Polymer Multi-layer Micro Structures by X-ray Lithography with Alignment

机译：X射线光刻对准制备聚合物多层微结构
- 作者：Yigui Li;Jian Sun;Chunsheng Yang;Jingquang Liu;Susumu Sugiyama
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- PMMA:PLLA:X-ray Lithography:Alignment:Polymer MEMS;
18.A Novel Assembly Method for a Micro Direc t Methanol Fuel Cell Using Multi-layer Bonding Technique

机译：多层键合技术的微细甲醇甲醇燃料电池组装新方法
- 作者：Y.M. Zhu;X.H. Wang;Y.A. Zhou
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Micro fuel cells:DMFC:Assembly:Multi-layer bonding:MEMS;
19.Fabrication of Piezoelectric Vibration Power Harvester using Bulk PZT

机译：使用块状PZT制作压电振动功率采集器
- 作者：Sun Jian;Li Yigui;Liu Jingquan;Yang Chunsheng;He Dannong;Van Thanh Dau;Katsuhiko Tanaka;Susumu Sugiyama
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Bonding:Piezoelectric Harvester:Cantilever:Bulk PZT:Dice;
20.Molecular Dynamics Study of Water Structure Confined in Vibrative Silicon Plates

机译：局限在振动硅片中水结构的分子动力学研究
- 作者：Wang Zhu;Bi Kedong;Chen Yunfei;Li Jiapeng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Nanochannel:Molecular dynamics simulation:Silicon vibrate:Water;
21.Thermal transport through solid-solid interface with an interlayer

机译：通过与夹层的固-固界面进行热传输
- 作者：Liu Yadong;Bi Kedong;Chen Yunfei;Chen Minhua
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Interface thermal resistance:Molecular dynamics simulation:Elastic and inelastic scattering;
22.A developed Au-Si eutectic bonding method used for in situ SCS nano beam tensile chip

机译：一种用于原位SCS纳米束拉伸芯片的Au-Si共晶键合方法
- 作者：X. Yu;T. Li;Y. L. Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- NEMS:SCS:Nano beam:Eutectic Bonding;
23.Molecular dynamic simulations of contact thermal resistance between two individual silicon nanowires

机译：两条单独的硅纳米线之间接触热阻的分子动力学模拟
- 作者：Wang Jianqiang;Bi Kedong;Chen Yunfei
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Contact thermal resistance:Silicon nanowire:Molecular dynamics:Bonding strength;
24.Fabrication of Nano-grating by Focused Ion Beam / Scanning Electron Microscopy Dual-beam System

机译：聚焦离子束/扫描电子显微镜双光束系统制备纳米光栅
- 作者：BaoyinYao;HuLuo;Zhen Zhou1;Lishuang Feng;Rongming Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Nano-grating:FIB/SEM Dual Beam System:Grating Transducer:MEMS Optical Accelerometer;
25.A biaxial capacitive microaccelerometer with a single proof-mass

机译：具有单个质量证明的双轴电容式微加速度计
- 作者：Yu Liu;Zhiyu Wen;Li Chen;Xuefeng He;Shengqiang Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:biaxial accelerometer:bulk silicon micromachining:multidisciplinary design optimization;
26.The Fabrication of Ag Nanostructure Array Integrated with Microfluidics for Surface Enhanced Raman Scattering

机译：集成微流控技术的Ag纳米结构阵列的表面增强拉曼散射制备。
- 作者：Zhaoxin Geng;Wen Liu;Xuanye Wang;Xiaodong Wang;Zhihong Li;Fuhua Yang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- SERS:Ag nanopartice:Nanofluidics;
27.Structure design, fabrication and characteristics of polysilicon nano-thin films resistances pressure sensor based on MEMS technology

机译：基于MEMS技术的多晶硅纳米薄膜电阻压力传感器的结构设计，制作与特性
- 作者：Zhao Xiaofeng;Wen Dianzhong;Li Yang;Hou Yuanxin;Ai Chunpeng;Wang Zhiqiang;Feng Changhao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Polysilicon nano thin films:Pressure sensor:Microelectromechanical system (MEMS):Wheatstone bridge;
28.Study on the Performance of Gas Journal Bearings for Power MEMS

机译：功率MEMS气体轴颈轴承性能研究。
- 作者：Haijun Zhang;Qin Yang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Gas journal bearing:Power MEMS:Reference Knudsen number:Modified Reynolds equation;
29.Failure Mechanisms and Lifetime Simulation Method for Nano Scale CMOS Device

机译：纳米CMOS器件的失效机理及寿命仿真方法
- 作者：Chen Ying;Kang Rui;Zhang Ganghua
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Nano-scale:Failure mechanism:Lifetime,:Simulation;
30.Effect of annealing on grain size and mechanical properties of bulk nanocrystalline Fe3Al materials with 5, 10 and 15 wt. Cr prepared by aluminothermic reaction

机译：退火对5、10和15 wt。％的块状纳米晶Fe3Al材料的晶粒尺寸和力学性能的影响。通过铝热反应制备的％Cr
- 作者：Peiqing La;Hongding Wang;Yang Yang;Yaping Bai;Yupeng Wei;Xuefeng Lu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Grain size:Fe3Al:Mechanical properties:Cr:Annealing:Bending:Compression.;
31.New style four-electrode MEMS conductivity chip

机译：新型四电极MEMS导电芯片
- 作者：A. Shao-hua Wu;Zhan Zhao;Zhen Fang;Li-dong Du;Dao-qu Geng;Jing Xu;Jun-juan Zhao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:Conductivity:Anti-pollution:Four electrodes;
32.A laterally thermally-actuated RF MEMS capacitive switch with parylene as dielectric layer

机译：以聚对二甲苯为介电层的横向热激励RF MEMS电容开关
- 作者：Xunjun He;Zhiqiu Lv;Bo Liu;Zhihong Li
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Lateral Actuation:Parylene:Capacitive:Shadow mask:RF MEMS Switch;
33.Design and manufacture of a micro direct methanol fuel cell stack

机译：微型直接甲醇燃料电池堆的设计与制造
- 作者：Hong He;Bo Zhang;Qi Fan;Yufeng Zhang;Xiaowei Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- μDMFC stack:micro stamping:current collector;
34.Micro Magnetic Field Sensor Based On Terfenol-D/PZT/Terfenol-D Magnetoelectric Composites

机译：基于Terfenol-D / PZT / Terfenol-D磁电复合材料的微磁场传感器
- 作者：Y. Zheng;X. Dan;J. Ma;T. L. Ren;L. T. Liu
- 会议名称：《》 | 2010年
- ME Composites:Magnetic Sensor:PZT:Tefernol-D;
35.A miniature Fluxgate sensor with CMOS interface circuitry

机译：具有CMOS接口电路的微型Fluxgate传感器
- 作者：Changchun Dong;Weiping Chen;Guanshi Wang;Xiaowei Liu;Zhiping Zhou
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- fluxgate:ASIC:CMOS;
36.An Improved Sensitivity Non-enzymatic Glucose Sensor Based on a Nano-Gold Modified Ag Electrode

机译：基于纳米金修饰的银电极的改进的灵敏度非酶葡萄糖传感器
- 作者：Kuang Hai-Yan;He Jia-hong;Xu Qiang;Song Zhong-rong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- nano-gold:modified electrode:non-enzymatic sensor:glucose;
37.An AD7746-based Data Acquisition System for Capacitive Pressure Sensor in Weather Detection Application

机译：基于AD7746的电容式压力传感器数据采集系统在天气检测中的应用
- 作者：Huang Zhen;Zhu Jian;Lu Le
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- capacitance-to-digital converter (CDC):MEMS capacitive pressure sensor:Data acquisition system;
38.Application of a Novel Capacitance Sensor in Precise Positioning

机译：新型电容传感器在精确定位中的应用
- 作者：Liguo. Chen;Yang. Zhang;Lining. Sun;Weibin. Rong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Comb-finger sensor;
- Offset constant-tooth;
- Differential capacitance:LIGA;
39.Fluorescence Enhanced Quantum Dots: Its Synthesis, Optical Properties,and Ecotoxicity Research

机译：荧光增强量子点：其合成，光学性质和生态毒性研究
- 作者：Shichao Xu;Chu Liang;Hao Luo;Miao Heng;Yueqian Yang;Juan Yang;Jimei Zhang;Zhao Dai;Guo Zheng;Bo Sun;Shuqing Sun
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- luminescent nano crystal;
- ecotoxicity;
- quantum dots;
- optical properties;
40.Fabrication and Characterization of A Toxoplasma gondii DNA Sensing System

机译：弓形虫DNA传感系统的制备与表征
- 作者：Shichao Xu;Yan Zi;Bo Sun;Heng Miao;Yueqian Yang;Jimei Zhang;Hongjun Li;Zhao Dai;Guo Zheng;Juan Yang;Tielin Feng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- DNA sensing:Toxoplasma gondii Detection:magnetic and fluorescent nano materials;
41.Micromachined Single Crystal Silicon Bulk Mode Resonator with Pre-etched Cavity

机译：具有预蚀刻腔的微机械单晶硅体模谐振器
- 作者：Guoqiang Wu;Dehui Xu;Bin Xiong;Yuelin Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Bulk mode microresonator:Pre-etched cavity:Single crystal silicon (SCS);
42.Realization of Hadamard Transform Encoding Mask Using Programmable Digital Micro-mirror Device

机译：可编程数字微镜器件实现哈达玛变换编码模板
- 作者：Wang. Wei;Wen. Zhiyu;Zhang Zhihai;Mo Xiangxia
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- CSMNT:MOEMS:Hadamard Transform:Encoding Mask:DMD;
43.An On-Chip Temperature-Controlling Technology for Silicon Micro-Gyroscope

机译：硅微陀螺仪的片上温度控制技术
- 作者：Xu Lu;Yang Bo;Wang Shourong;Li Hongsheng;Huang Libin
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Silicon micro-gyroscope:On-chip heater:ANSYS:Coupling:Heat transfer;
44.A Membrane-Free Miniaturized Amperometric Ammonia Sensor and its Application to Determination of Ammoniacal Nitrogen

机译：无膜微型安培氨传感器及其在氨氮测定中的应用
- 作者：H. M. Bian;S. H. Xia;C. Bian;J. H. Tong;J. Z. Sun
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Miniaturized amperometric ammonia sensor:Membrane-free:Thin liquid layer:Ammoniacal nitrogen;
45.Design and Implementation of SOI Based Capacitive Microaccelerometers Without Notching Effects

机译：基于SOI的无缺口电容式微加速度计的设计与实现
- 作者：Mei Liu;Jian Zhu;Min Zhuo;Jing Wu;Shixing Jia
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:Microaccelerometer:SDB:SOI:Stiction:Notching effects;
46.DFT study of structure, electronic, optical and magnetic properties of ZnO and Cu-doped ZnO clusters

机译：DFT研究ZnO和掺杂Cu的ZnO团簇的结构，电子，光学和磁性
- 作者：Jianning Ding;Xiuqin Wang;Ningyi Yuan
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Cluster:ZnnOn:Cu-doped Znn-1On:structure:property;
47.3D Pyramidal Micropool Array Electrode for Amperometric Microsensor

机译：用于电流微传感器的3D金字塔形微池阵列电极
- 作者：Jizhou Sun;Shanhong Xia;Chao Bian;Jianhua Tong;Hanpeng Dong;Hong Zhang;Qingyong Chen
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Amperometric microsensor:Three-dimensional microelectrode:Micropool array:Platinum black.;
48.Study of the Microfluidic Immunoassay Chip used to Capture Cancer Cells

机译：用于捕获癌细胞的微流控免疫分析芯片的研究
- 作者：Wei Meihang;bXu Yi;Li Dongshun;Zhou Zhen
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Microfluidic immunoassay chip;
- EDC;
- c-Met;
- HepG2 cells;
- Capture efficiency;
49.Temperature characteristic of Platinum Piezoresistive Pressure Sensor

机译：铂压阻式压力传感器的温度特性
- 作者：Lidong Du;a Li Xiao;Zhan Zhao;Zhen Fang;Jing Xu;Junjuan Zhao;Yundong Xuan
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Temperature characteristic:Atmosphere pressure sensor:Adhesive bonding:Platinum resistor;
50.Novel Triplexer Chip Design combination of an Asymmetric Y Branch Waveguide and a Multimode Interference

机译：非对称Y分支波导和多模干扰的新型三工芯片设计
- 作者：Zichun Le;Bin Li;Jinhua Hu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- FTTH:Triplexer:Y-Junction;
- MMI;
- BPM algorithm;
51.Stability analysis in high-order electromechanical sigma-delta accelerometer

机译：高阶机电sigma-delta加速度计的稳定性分析
- 作者：Xiaowei Liu;Yuntao Liu;Weiping Chen;Qun Wu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Accelerometer:Sigma-delta:Stability:High-order;
52.Design and research of flat micro heat pipe with glass fiber wick structure

机译：具有玻璃纤维芯结构的扁平微热管的设计与研究
- 作者：Han Tian;Liu Xiaowei;Wang Chao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Micro heat pipe:Glass fiber:Maximum heat transport;
53.Fabrication and Testing of SOG Structure Flat Heat Pipes with Triangle Grooves

机译：具有三角形槽的SOG结构扁平热管的制造和测试
- 作者：Xiaowei Liu;Chao Wang;Tian Han;Tian Dong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- SOG:MHPs:MEMS;
- Sealing;
- Working liquid;
54.A miniaturized spectrometer based on optical modulator composed of grating and tunable Fabry-Perot

机译：基于光栅和可调法布里-珀罗光学调制器的微型光谱仪
- 作者：Naike Wei;Zhugao Ni;Jun Yao;Jianhua Zhu;Fuhua Gao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Miniaturized Spectrometer:Grating:Tunable Fabry-Perot;
55.Macro Machined Photoacoustic Non-resonant Cell

机译：宏观加工的光声非共振电池
- 作者：ZHAO Jun-juan;ZHAO Zhan;DU Li-dong;WU Shao-hua
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Photoacoustics:Non-resonant cell:Microelectromechanical systems;
56.A new ultrasonic generator research of micro-manipulation

机译：新型超声波发生器的微操纵研究
- 作者：Wu Ling;Zhou Zhao-Ying;Lan Jing-Hui
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- micro-manipulation:piezoelectric transducer:resonant frequency:frequency tracking:DDS;
57.Design and Development of the Shrapnel-borne Meteorological Exploration System Based on MEMS

机译：基于MEMS的弹片式气象探测系统的设计与开发
- 作者：Liu Hui-chao;Lou Wen-zhong;Gao Chao;Zu Shao-peng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:meteorological exploration:Shrapnel-borne:GPS;
58.Study on ultrasonic fusion bonding for polymer microfluidic chips

机译：聚合物微流控芯片的超声熔合研究
- 作者：Shengqiang He;Yi Luo;Zongbo Zhang;Xiaodong Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Ultrasonic bonding:Energy directors:Fusion:Polymer microfluidic chips;
59.Study of a nanohole structure in AlGaInP-based light emitting diodes

机译：基于AlGaInP的发光二极管中的纳米孔结构的研究
- 作者：Ma Li;Jiang Wenjing;Zou Deshu;Meng Lili;Shen Guangdi
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Nanohole:GaP:Light emitting diodes (LEDs):Inductively coupled plasma (ICP);
60.Experimental Study of Cushion Materials for Microaccelerometers

机译：微型加速度计缓冲材料的实验研究
- 作者：Wang Shitao;Jia Yubin;Zhang Binzheng;Lei Yinhua;Huang Qinwen;Hao Yilong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Cushion materials:Aluminum foam:Metal rubber:Microaccelerometer;
61.Dynamic Characteristics Measurement of Silicon Micro-cantilever in Low Temperature Environment

机译：低温环境下硅微悬臂梁的动态特性测量
- 作者：She Dongsheng;Wang Xiaodong;Zhang Xiwen;Wang Liding
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS measurement:Dynamic testing:Low temperature environment:Micro cantilever;
62.Wafer Scale Fabrication of Piezoelectric MEMS Devices

机译：压电MEMS器件的晶圆级制造
- 作者：J.Lu;Y.H.Wang;T.Suga;R.Maeda;T.Mihara
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- piezoelectric thin film:PZT:wafer scale:process:MEMS;
63.Design and Simulation of Electromagnetic Two-dimensional MOEMS Scanning Mirror

机译：电磁二维MOEMS扫描镜的设计与仿真
- 作者：ZHANG Chi;YOU Zheng;HUANG Hu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MOEMS:scanning mirror:electromagnetic:FEM simulation;
64.Theoretic study of the structures and electric properties of N-doped InSb nanoclusters

机译：N掺杂InSb纳米团簇结构和电学性质的理论研究
- 作者：Jian-Ning Ding;Ning-Yi Yuanb;Xiu-Qin Wang;Chang-Lin Li;Gu-Qiao Ding
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- nanoclusters:InSb:N-doping:structures:electric properties;
65.Adhesive enhancement improved field emission characteristics of carbon nanotube arrays on energetic ion pre-bombarded Si substrates

机译：胶粘剂增强改善了高能离子预轰击Si衬底上碳纳米管阵列的场发射特性
- 作者：Jian-hua Deng;Peng-cheng Sun;Zhao-xia Ping;Guo-an Cheng;Rui-ting Zheng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Carbon nanotube arrays:Ion bombardment:Field emission characteristics;
66.Stokes' Second Problem with Velocity Slip Boundary Condition

机译：速度滑移边界条件的斯托克斯第二个问题
- 作者：Weidong Wang;Xiangyu Niu;Kangqi Fan;Qingyi Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Micro-Electro-Mechanical System:Velocity slip boundary condition:Stokes' second problem,Penetration depth:Slide film damping;
67.A High-Performance Fourth-order Sigma-delta Micromachined Accelerometer

机译：高性能四阶Sigma-delta微机械加速度计
- 作者：Liu Xiaowei;Li Yaoguang;Xiao Yan;Liu Yuntao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Micromachined:Accelerometer:Quantization noise:Sigma-delta:system;
68.System Design of Nonideal Fourth-Order Sigma-Delta Micromachined Accelerometer

机译：非理想四阶Σ-Δ微机械加速度计的系统设计
- 作者：Xiaowei Liu;Zhi Li;Guannan Sun;Yuntao Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Accelerometer:Fourth-order:Sigma-delta:Electrode movement;
69.Design, Simulation and Fabrication of an Air-driven Microturbomachine

机译：气动微型涡轮机的设计，仿真与制造
- 作者：Shao-Chun Sun;Geng-Chen Shi
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- microturbine:rotary machine:power source:UV- LIGA;
70.Nonlinear ultrasonic techniques for testing micro-defects in metal matrix composite structure

机译：用于测试金属基质复合结构中微缺陷的非线性超声技术
- 作者：DUN Yi;SHI Xiao-hong;WANG Guang-long;ZHOU Zhao-ying
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- micro-defects:nonlinear ultrasonics:harmonic:NDTE;
71.Piezoresistive sensitivity and Al ohmic contact of highly doped polycrystalline silicon nano thin films

机译：高掺杂多晶硅纳米薄膜的压阻灵敏度和Al欧姆接触
- 作者：Changzhi Shi;Xiaowei Liu;Xuan Wu;Haitao Zheng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Polycrystalline silicon:Nano thin film:Piezoresistive sensitivity:Gauge factor:Ohmic contact;
72.A Micro-Optical Transceiver for Interferometric Fiber Optic Gyroscope

机译：用于干涉式光纤陀螺仪的微光学收发器
- 作者：Kunbo Wang;Yingjian Ma;Bo Zhang;Lishuang Feng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Transceiver:IFOG:Micro-Optical:thick film integrated technology;
73.Design and fabrication of a polymer-based micro direct methanol fuel cell

机译：聚合物基微型直接甲醇燃料电池的设计与制造
- 作者：Luwen Wang;Hong He;Qi Fan;Yufeng Zhang;Xiaowei Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- μDMFC:polymer:PDMS;
74.High frequency pressure sensor for dynamic measurement

机译：用于动态测量的高频压力传感器
- 作者：ZHAO Libo;LI Jianbo;ZHAO Yulong;CHEN Wei;JIANG Zhuangde;LI Yong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:high frequency response:piezoresistive pressure sensor:flush-type package;
75.Analysis of piezoelectric dynamic weighing sensor based on ANSYS

机译：基于ANSYS的压电动态称重传感器分析
- 作者：LIANG Jianqiang;ZHAO Libo;ZHAO Yulong;CHEN Wei;WANG Jianzhu;LI Yong;JIANG Zhuangde
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Quartz-crystal:Piezoelectric effect:Coupled-field analyses:Preload:Sensitivity;
76.Polarization-noise in integrated optical gyro

机译：集成光学陀螺仪中的偏振噪声
- 作者：MENG-Zhaokui;JIAO-Zhichao;LIU-Huilan;FENG-Lishuang;LI-Ruya
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Integrated optical gyro:Polarization noise:Si-based SiO2 waveguide;
77.The design of experiment platform for micro heat exchangers

机译：微型换热器实验平台的设计
- 作者：Jinyun Jiang;Yajun Zhang;Yajun Zhang;Jian Zhuang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- micro heat exchanger:experiment platform for heat transfer:data acquisition system;
78.Fabrication of Multi-layer Graphene Films for Transparent Electrodes Applications

机译：用于透明电极的多层石墨烯薄膜的制备
- 作者：FU Di;ZHANG Di;XIE Dan;QIAN He;LIU Li-Tian
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- multi-layer graphene:thin films:transparent electrodes;
79.A Four-Quadrant Analog Multiplier Based on CMOS Source Coupled Pair

机译：基于CMOS源耦合对的四象限模拟乘法器
- 作者：W.P. Chen;T.Y. Wang;H.L. Xu;X.W. Liu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Multiplier:CMOS Source Coupled Pair:Attenuator;
80.THE EXCITATION AND MEASUREMENT OF POINT DEFECT MODES IN PLATE PHONONIC CRYSTAL

机译：平板光子晶体中点缺陷模式的激发与测量
- 作者：Feng Li;Jun Liu;Yihui Wu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
81.Effect of compressive strain on electrical resistivity of carbon nanotube cement-based composites

机译：压缩应变对碳纳米管水泥基复合材料电阻率的影响
- 作者：Jianlin Luo;Zhongdong Duan;Tiejun Zhao
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Carbon nanotube:advanced cement material:Piezoresistivity property;
82.A convenient method to integrate microchannel with nanochannel

机译：将微通道与纳米通道集成的便捷方法
- 作者：Xiu-Dong Wu;Qian-Wei Zhuang;Jiong-Wei Xue;Wei-Qiang Sun;Sheng-Yong Xu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Microchannel:Nanochannel:Nanowire:PDMS:SU-8;
83.Fabrication and Performance Simulation of Microscale Thermoelectric Modules made with Bi2Te3-based Alloys

机译：Bi2Te3基合金制成的微型热电模块的制备和性能模拟
- 作者：Dawei-Liu;Jing-Feng Li
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Thermoelectric:micro module:fabrication:FEM simulation;
84.Research of the Hadamard Multiplex Advantages using a Programmable Micro Mirror in a near Infrared Spectrometer

机译：在近红外光谱仪中使用可编程微镜对Hadamard复合优势的研究
- 作者：GUO Yuan-jun;WEN Zhi-yu;ZHANG Zhi-hai;WANG Wei
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Hadamard Transform:micro mirror:S-Matrix:signal multiplex:SNR;
85.On-chip Bio-micro Separation and Operation Effected on the Diamagnetic Levitation with MEMS

机译：MEMS对逆磁悬浮的片上生物微分离和操作
- 作者：Cheng Yuxiang;Zhang Weiping;Li Shipeng;Chen Wenyuan;Liu Wu
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- magneto Archimedes levitation:MEMS:bio-chip;
86.Fabrication of PDMS microchannels with round profiles using glycerol molds

机译：使用甘油模具制造具有圆形轮廓的PDMS微通道
- 作者：Min Du;Hangbo Zhao;Xiongying Ye;Zhaoying Zhou
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- microchannel:glycerol mold:round profile:hydrophilic/hydrophobic modification;
87.Two-dimensional motor based on surface acoustic wave

机译：基于声表面波的二维电动机
- 作者：Zhang Guan;Li Yigui;Zhang Junfeng;Yang Chunshen;Liu Jingquan
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Surface Acoustic Wave:Interdigital Transducer:Motor;
88.Design of High-SNR CMOS Interface Circuit for Micro-machined Gyroscope The 2st International Conference of CSMNT

机译：微机械陀螺仪高信噪比CMOS接口电路设计第二届CSMNT国际会议
- 作者：Lu Haixi;Xu YongpingWang Shourong;Wang Shourong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Gyroscope:Interface:Front-end:Sigma-Delta Modulator;
89.Low-cost Fabrication Strategies of Microfluidic Devices on Glass Substrate

机译：玻璃基板上微流控器件的低成本制造策略
- 作者：Li Dong-ling;Wen Zhi-yu;Shang Zheng-guo;Wang Sheng-qiang;Liu Jian-hua
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Fabrication:microfluidic device:wet etching:photoresist mask:undercut ratio.;
90.Development of a novel electrochemical surface plasmon resonance instrument based on a mini three electrode flow cell

机译：基于微型三电极流通池的新型电化学表面等离子体激元共振仪的研制
- 作者：Lulu Zhang;Dafu Cui;Xing Chen;Haoyuan Cai;Hui Li;Jianhai Sun
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Surface plasmon resonance (SPR):Electrochemical (EC):flow cell:Cyclic voltammetry(CV);
91.A Porous Microfluidic Chip for Protein Extraction Based on Solid Phase Extraction Method

机译：基于固相萃取法的蛋白质提取多孔微流控芯片
- 作者：Xing Chen;Dafu Cui;Lulu Zhang;Hui Li;Jianhai Sun;Haoyuan Cai
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Microfluidic:Solid phase extraction (SPE):Protein extraction:Porous silicon;
92.Design and Test of a Self-oscillating Driving ASIC For a Low-Q Gyroscope Based on PI Controller

机译：基于PI控制器的低Q陀螺自振荡驱动ASIC的设计与测试。
- 作者：Liu Xiaowei;Wang Guanshi;Lv Bingjun;Yin Liang;Jiang Yiming
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Closed-loop self-oscillating:Stability:PI controller;
93.Effect of micro-injection molding process parameters for various micro-channels

机译：微注射成型工艺参数对各种微通道的影响
- 作者：Duo Yang;Chong Liu;Zheng Xu;Tongjun Wang;Jizhang Wang;Liding Wang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Micro-injection molding:micro-channels:orthogonal experiment;
94.A Tire Pressure Monitoring System Based on MEMS Sensor

机译：基于MEMS传感器的胎压监测系统
- 作者：Jian Zhang;Li-Tian Liu;Zhao-Hua Zhang;Tao Chen;Xiang-Ming Kong;Rui-Rui Han;Hui Zhang;Gu-Jin Miao;Hui-Wang Lin;Tian-Ling Ren
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Pressure Sensor:TPMS:SOI:Low-Power Consumption:MEMS;
95.Electrical characteristics of a stimulating microelectrode-electrolyte interface

机译：刺激性微电极-电解质界面的电学特性
- 作者：Xiaohong Sui;Fei Tan;Qiushi Ren
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- implantable microelectrode array:electrode-electrolyte interface:neural stimulation:impedance;
96.Application of ultrasonic stress relief in the fabrication of SU-8 micro structure

机译：超声应力释放在SU-8微结构制造中的应用
- 作者：Wang Qijia;Du Liqun;Zhang Xiaolei
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Ultrasonic stress relief:SU-8 micro structure:Internal stress:MEMS;
97.Stability of Carbon Nanotubes Humidity Sensor at Different Testing Voltage

机译：碳纳米管湿度传感器在不同测试电压下的稳定性
- 作者：Zhengang Zhao;Xiaowei Liu;Xin Wang;Tuo Li;Xiaoyun Tan
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Carbon nanotubes (CNTs):Humidity sensor:Stability:Potential barrier:Schr?dinger equation;
98.Design of the Cascaded Open-Channel Direct Current Electroosmotic Pump

机译：级联明渠直流电渗泵的设计
- 作者：LIU Tingting;BAI Zhuchuan;YANG Tao;GAO Yang
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- MEMS:electroosmotic micro-pump:microfluidics:simulation:microfabrication;
99.Implantable Pt-black Coated Microelectrode for Electrical Stimulation

机译：植入式铂黑涂层微电极用于电刺激
- 作者：RUI Yue-feng;LIU Jing-quan;YANG Chun-sheng
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- Bio-Medical Engineering:Parylene:microelectoede:implantable:pt-black;
100.Fabrication and Testing of SOG Structure Flat Heat Pipes with Triangle Grooves

机译：具有三角形槽的SOG结构扁平热管的制造和测试
- 作者：Xiaowei Liu;Chao Wang;Tian Han;Tian Dong
- 会议名称：《MEMS/NEMS nano technology.》 | 2010年
- SOG:MHPs:MEMS:Sealing:Working liquid;