角分辨飞行时间法研究GaAs（100）表面蚀刻反应动力学

摘要

本文采用探测室可转动的分子束实验装置，研究了氯分子束与ＧａＡｓ（１００）表面热反应和紫外激光诱导反应的动力学结果表明，热反应的主要产物为ＧａＣｌ３，其角分布用ＣＯＳ＾２．３θ函数拟合，对于紫外（３５５ｎｍ）激光诱导反应，由角分辨的飞行时间（ＴＰＦ）法测得主要产物为ＧａＣｌ等，它们的通量角分布须用双余弦加和公式拟合，表示产物粒子在表面法线方向明显聚集，而且由ＴＯＦ谱求得粒子的动能在表面法线方向最大，