Boston Micromachines Corporation, 30 Spinelli Place, Cambridge, MA 02138;
Boston Micromachines Corporation, 30 Spinelli Place, Cambridge, MA 02138,Boston University, 15 St. Mary's St., Boston, MA 02215;
Boston Micromachines Corporation, 30 Spinelli Place, Cambridge, MA 02138;
deformable mirror; spatial light modulators; adaptive optics; MEMS; high contrast imaging;
机译:静电活塞阵列致动MEMS可变形镜的数学建模与分析
机译:将位移传感器集成到用于MEMS变形镜的大块PZT厚膜致动器中
机译:大块PZT驱动的MEMS变形镜的设计,制造和表征
机译:增强压电MEMS可变形镜的膜镜冲程进行自适应光学器件
机译:MEMS变形镜的无限维建模和控制及其在自适应光学中的应用
机译:基于2D扫描MEMS镜的定制的两个光子荧光成像探针包括电热两级梯双S形致动器
机译:表征影响函数的非附加性 1024执行器mEms可变形镜
机译:用于太空望远镜的高执行器计数mEms可变形反射镜