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Todd Borkowski;
ADI公司微机械产品部;
MEMS; 麦克风; 可靠性; 音频系统;
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机译:制造MEMS电容麦克风的方法,MEMS电容麦克风,一叠包含该MEMS电容麦克风的箔,包含该MEMS电容麦克风的电子设备和电子的使用
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