具有三层式梳状致动器和两层式铰链的MEMS设备

摘要

一种微型光学设备可包括：悬挂在一组铰链上的反射镜，该一组铰链安装到基板并被配置为使反射镜围绕轴线倾斜，其中，所述一组铰链中的铰链是具有与反射镜的质心对准的枢转点的两层结构；和与所述一组铰链中的铰链相关联的三层式梳状致动器结构，其中三层式梳状致动器结构包括转子梳状致动器、第一个定子梳状致动器和第二定子梳状致动器。