机译:大块PZT驱动的MEMS变形镜的设计,制造和表征
THICK-FILMS; MEMBRANE; BIMORPH; ARRAYS;
机译:大块PZT驱动的MEMS变形镜的设计,制造和表征
机译:利用MEMS变形反射镜模型设计自适应光学系统。
机译:齿轮形离子导电聚合物金属复合材料的大行程可变形镜的设计与制作
机译:用于自适应光学器件MEMS可变形镜的制造与表征
机译:用于眼睛自适应光学系统的MEMS变形镜的设计,制造和表征。
机译:齿轮形状的离子导电聚合物金属复合材料的大行程可变形镜的设计与制作
机译:基于飞秒脉冲整形的相位和振幅的基于MEMS的反射镜阵列的设计,仿真,制造,封装和表征
机译:设计和制造用于空间mEms变形镜的波纹膜静电致动器