capacitance; finite element analysis; glass; gyroscopes; micromechanical devices; silicon; ANSYS8.1 program; Si; bulk silicon wafer; electrostatic force; finite element method; glass substrate; monolithic triaxial micromachined vibratory gyroscope; sensing capacitance; triaxial gyroscope; uniaxial gyroscopes; bulk micromachining; micromachined gyroscope; silicon on glass;
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