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第一章 绪论
1.1 本课题的研究目的及意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 微机械振动陀螺在国内外研究现状
1.2.2 微机械三轴陀螺在国外的研究现状
1.3 本文研究内容
第二章 结构组成及工作原理
2.1 三轴陀螺布局
2.2 水平轴陀螺结构与工作原理
2.2.1 结构与工作原理
2.2.2 动力学方程
2.3 垂直轴陀螺结构与工作原理
2.3.1 结构与工作原理(动力学放大原理)
2.3.2 动力学方程
2.4 小结
第三章 结构设计与仿真
3.1 理论计算
3.1.1 水平轴陀螺结构尺寸计算
3.1.2 垂直轴陀螺结构尺寸计算
3.2 有限元仿真
3.2.1 有限元理论
3.2.2 仿真结果
3.3 小结
第四章 加工与测试
4.1 硅微机械加工工艺
4.2 测试
4.2.1 尺寸测绘
4.2.2 驱动测试
4.3 小结
第五章 误差分析与结构改进
5.1 误差分析
5.1.1 原理性误差
5.1.2 非原理性误差
5.2 结构改进的原因与措施
5.2.1 改进的原因
5.2.2 改进措施
5.3 结构改进前后理论计算及仿真比较
5.4 小结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
附录
A 水平轴陀螺动力学方程的推导
1 水平轴陀螺结构的等效原理图
2 力学模型
B 垂直轴陀螺动力学方程的推导
1 垂直轴陀螺结构的等效原理图
2 力学模型
致谢
参考文献
作者简介
东南大学;