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公开/公告号CN103900545B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 东南大学;
申请/专利号CN201410105276.6
发明设计人 夏敦柱;孔伦;虞成;胡异炜;倪佩圳;
申请日2014-03-20
分类号G01C19/5621(20120101);
代理机构32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙);
代理人柏尚春
地址 210018 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
入库时间 2022-08-23 09:51:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-18
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/5621 申请日:20140320
实质审查的生效
2014-07-02
公开
机译: 一种制备微机械硅的方法-玻璃音叉-陀螺仪
机译: 用于检测面外旋转的微细音叉陀螺仪和相关的三轴惯性测量系统
机译: 微加工的音叉陀螺仪和相关的三轴惯性测量系统,以感知平面外旋转
机译:一种新颖的x轴音叉陀螺仪,在(111)硅上具有“ 8个垂直防弹质量”结构
机译:基于GaAs的音叉微谐振器:迈向基于GaAs的科里奥利3轴微振动速率陀螺仪(GaAs 3轴μcVG)的第一步
机译:一种全差分,多路复用的界面电路,与三轴纯氧化物电容CMOS-MEMS加速度计单片集成
机译:陀螺仪和微镜设计使用垂直轴CMOS-MEMS驱动和传感。
机译:低空气阻尼的Z轴微音叉陀螺仪
机译:(111)硅上具有“ 8个垂直弹簧– PROOFMASS”结构的新型X轴音叉式陀螺仪
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计