水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析

摘要

以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象,建立了陀螺仪机电接口的理论模型,分析了模型中杂散电容对输出信号的影响,并用电路分析软件对模型进行仿真.结果表明,陀螺仪活动结构与衬底、引线问的电容对输出信号的影响很大,最后提出了减小杂散电容,提高信噪比的方法.