Z轴硅微机械陀螺仪的机电接口模型分析

摘要

为提高Z轴硅微机械陀螺仪信噪比,分析了陀螺仪机电接口中的电容和电阻.文中以Z轴硅微机械陀螺仪的理论模型为对象,建立了陀螺仪机电接口模型,分析了模型中寄生电容和电阻对有用信号和噪声的影响.分析结果表明:寄生电容会削弱有用信号,且布线与活动结构间的电容对输出有很大的影响,而寄生电阻会产生噪声.最后,提出了采用新工艺和合理的布线方法以减小寄生电容和电阻,从而提高信噪比.