机译:缩小以Au / Cr自组装簇为蚀刻掩模通过反应离子蚀刻制造的硅纳米柱的横向尺寸
机译:反应离子等离子体刻蚀的无掩模微结构和纳米晶金刚石膜表面结构
机译:碳材料的微加工和用作反应离子刻蚀的掩模的金属膜的激光微图案化
机译:通过具有动力学离子蚀刻的大规模工程纳米结构表面,其具有动力学自组装的非连续金属膜作为蚀刻掩模
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:通过片上自组装多孔阳极氧化铝掩模通过反应离子刻蚀进行Si纳米图案化
机译:电感耦合等离子体对有机电阻掩模和金属掩模NiFe薄膜的反应离子刻蚀