4H-SiC; homoepitaxy; vicinal; off angle; surface energy; C/Si ratio; morphology; polytype; basal plane dislocations; conversion;
机译:4H-SiC相邻倾斜衬底上同质外延生长技术的发展
机译:倾斜角小于1°的衬底上4H-SiC同质外延生长
机译:在邻近衬底上逐步控制4H-SiC的同质外延生长
机译:4H-SiC邻离角度基质的同性记生长技术的研制。
机译:使用定角X射线反射仪和衍射技术实时测量膜的生长。
机译:1°偏角的4H-SiC硅面同质外延层生长过程中3C夹杂物形成的抑制
机译:在具有1°偏角的4H-siC si面同质外延层生长期间抑制3C-夹杂物形成