P~+-implantation; warpage structure; X-ray topography; Raman spectroscopy;
机译:P〜+注入和后退火对4H-SiC晶片翘曲结构的影响
机译:注入和退火工艺后4H-SiC的翘曲结构
机译:通过植入和退火的4H-SIC晶体翘曲与肿胀的相关性
机译:P〜+ -implantation和退火对4H-SiC晶片翘曲结构的影响
机译:切角对晶片键合串联太阳能电池直接晶片键合的n-砷化镓/ n-砷化镓结构电导率的影响
机译:一种用于高纵横比植入MEMS结构的晶片刻度蚀刻技术
机译:毯子结构晶圆级3D包装中CTE不匹配的翘曲模拟