photomask; e-beam resists; outgassing; contamination;
机译:光学抗蚀剂的干式电子束蚀刻
机译:有机硅酸酯聚合物电子束具有高分辨率,灵敏度和稳定性
机译:功能化倍半硅氧烷显示出对下一代电子束光刻技术的高灵敏度和稳定性
机译:电子束抗蚀剂除气,用于研究抗蚀剂灵敏度与电子束光学污染之间的相关性
机译:电子束生成等离子体中高级抗蚀剂蚀刻的比较。
机译:CUO / PMMA聚合物纳米复合材料作为电子束光刻的新型抗蚀剂材料
机译:有机冰抗性:凝聚的小分子作为无旋转的挥发性电子束抗蚀剂
机译:电子束抗蚀剂灵敏度的分子量依赖性