共振モードを利用した中空管マイクロポンプの液送機能向上手法の研究

摘要

本報告では中空管マイクロポンプの共振モードを用いた場合の液送機能評価と高機能化手法の探索を目的とし，円筒型PZT寸法および中空管寸法を固定し，液送機能に大きく影響するPZT設置間隔を変化させ，FEMを用いた動的圧電解析による共振挙動の検証を行った．また，動的圧電解析の結果より共振時における変形挙動を考慮したPZT設置間隔を決定し，中空管材質をチタンとして中空管マイクロポンプを作成し円筒型PZTの共振時における液送機能確認実験を行った．