2種類の方法によって作製したスパッタTi-Ni-Zr形状記憶合金薄膜の機械的性質

摘要

三元合金薄膜をスパッタ法によって作製する場合、研究室ではターゲット上に組成制御用の純金属チップを配した複合ターゲットを用いるか、3基のマグネトロンで純金属ターゲットを同時スパッタする方法が用いられることが多い。