MEMS; finite element analysis(FEA); comb drive actuator; switch;
机译:带双倾斜梳状指和平行四边形梁的MEMS继电器/开关的静电梳状驱动执行器
机译:用于光开关应用的静电MEMS执行器的拉入性能分析
机译:用于光开关应用的静电MEMS执行器的拉入性能分析
机译:用于光学切换的新型MEMS静电梳致动器的分析
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:用于光学开关应用的静电MEMS执行器的拉入行为分析
机译:用于微波系统的微电磁系统(mEms)静电开关技术。