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机译:用于光学开关应用的静电MEMS执行器的拉入行为分析
M. Maheswaran; M. Nambirajan; Uppari Chaitanya Cha Yadav; Har Narayan Upadhyay;
机译:用于光开关应用的静电MEMS执行器的拉入性能分析
机译:用于光开关应用的MEMS静电执行器
机译:适用于光学开关应用的大挠度,高速,静电致动器。
机译:严重欠阻尼边缘场静电MEMS执行器的改善开关时间的实时直流动态偏置方法
机译:挤压膜阻尼和交流激励电压对静电微动开关吸合现象的影响
机译:静电致动器,静电致动器,微动开关,微光学开关,微光学开关系统以及通信装置的制造方法
机译:聚合物MEMS执行器,光学开关以及制造聚合物MEMS执行器的方法
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