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International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics
International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics
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1.
Fabrication of InGaAs/InGaAsP microcylinder by wet chemical etching
机译:
通过湿化学蚀刻制备Ingaas / IngaAsp微轴器
作者:
Pan YuZhai
;
Ning YongQiang
;
Qin Li
;
Suo Hui
;
Liu Yun
;
Wang LiJun
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
microcavity;
microcylinder;
lasers;
2.
Hydrogen-induced actuation - a new active mechanism for MEMS
机译:
氢诱导的致动 - MEMS的新型活性机制
作者:
Yi Zhang
;
Guifu Ding
;
Chunsheng Yang
;
Aibing Yu
;
Bingchu Cai
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
Electrochemical microactuator;
Hydrogen-absorbing metal;
Sputtering;
3.
MEMS based variable optical attenuator
机译:
基于MEMS的可变光衰减器
作者:
Dai Xuhan
;
Zhao Xiaolin
;
Lin Wenjun
;
Cai Bingchu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
variable optic attenuator;
DWDM;
4.
Hydrogen-Induced Actuation ---A New Active Mechanism for MEMS
机译:
氢诱导的致动--- MEMS的新型活性机制
作者:
Yi Zhang
;
Guifu Ding
;
Chunsheng Yang
;
Aibing Yu
;
Bingchu Cai
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
electrochemical microactuator;
hydrogen-absorbing metal;
sputtering;
5.
Angular-dependent magnetoresistance characteristics in Si(001)/NiO(300 A)/NiFe(t) bilayer system
机译:
Si(001)/ nio(300a)/ nife(t)双层系统的角度依赖性磁阻特性
作者:
Won Jae Lee
;
Jae Sung Song
;
Bok Ki Min
;
Gwiy Sang Chung
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
NiFe;
angular magnetoresistance;
MR;
thickness dependence;
exchange bias field;
6.
Phase detection scheme of vibratory gyroscope by 2-D driving operation
机译:
2-D驱动操作振动陀螺仪的相位检测方案
作者:
Heng Yang
;
Minhang Bao
;
Hao Yin
;
Shaoqun Shen
;
Bin Xiong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
gyroscope;
vibratory gyroscope;
angular rate sensor;
two-dimensional excitation;
phase detection;
7.
The modeling and fabrication of micro 3K-2 type planetary gear reducer utilizing SU-8 photoresist as alternative 'LIGA' technology
机译:
Micro 3K-2型行星齿轮减速器的建模与制造利用SU-8光刻胶作为替代“LIGA”技术
作者:
Weiping Zhang
;
Wenyuan Chen
;
Di Chen
;
Xiaomei Chen
;
Xiaosheng Wu
;
Zhengfu Xu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
Micro 3K-2 type planetary gear reducer;
SU-8 photoresist;
model;
CAD;
the LIGA type process;
8.
Nano-fluidics-enabling processes for bio-tech
机译:
Bio-Tech的纳米流体 - 支持工艺
作者:
Umberto Ulmanella
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
nanofluidics;
biotechnology;
viscosity;
micromixing;
DNA detection;
9.
Magnetically actuated MEMS variable optical attenuator
机译:
磁性启动MEMS可变光衰减器
作者:
Wenjun Li
;
Xiaolin Zhao
;
Bingchu Cai
;
Cuangya Zhou
;
Mingsheng Zhang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
variable optical attenuator;
magnetically actuated;
attenuation;
micromachining;
planar coil;
10.
Numerical modeling of a SiN beam resonant pressure sensor
机译:
SIN梁谐振压力传感器的数值模拟
作者:
Deyong Chen
;
Dafu Cui
;
Li Wang
;
Zhongyao Yu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
SiN beam resonator;
Micromachine;
Numerical modeling;
Pressure sensor;
11.
Numerical Modeling of SiN Beam Resonant Pressure Sensor
机译:
SIN梁谐振压力传感器的数值模拟
作者:
Deyong Chen
;
Dafu Cui
;
Li Wang
;
Zhongyao Yu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
SiN beam resonator;
micromachine;
numerical modeling;
pressure sensor;
12.
Design of thin film based micro grippers
机译:
基于薄膜的微夹具设计
作者:
W. M. Huang
;
X. Y. Gao
;
J. P. Tan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
thin film;
micro gripper;
NiTi;
shape memory alloy;
piezoelectric;
bimetal;
deflection;
13.
The absorption and emission properties of F-center-OH~- defect pairs in cesium halides
机译:
卤化铯 - oh〜 - 缺陷对的吸收与排放性能
作者:
Kong Chunyang
;
Ma Yong
;
Dong Mida
;
Wang Wanlu
;
Liao Kejun
;
Xu Jie
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
absorption;
emission;
cesium halide;
F-center;
OH~-;
14.
Numerical Analysis of a Composite Diaphragm Microactuator
机译:
复合隔膜微致动器的数值分析
作者:
Jian Chen
;
Bingchu Cai
;
Li Wang
;
Dong Xu
;
Xiulan Cheng
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
diaphragm microactuator;
shape memory effect (SME);
finite element method (FEM);
simulation;
15.
Structural optimization of NiTi/Si diaphragm used in micropumps
机译:
微泵中使用的Niti / Si隔膜的结构优化
作者:
Li Wang
;
Jian Chen
;
Dong Xu
;
Bingchu Cai
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
microactuator;
diaphragm micropump;
shape memory alloys;
bimorph;
finite element analysis;
16.
Metallic Oxide Semiconductor Field Effecttransistor Array Compound Type Gas Chemical Microsensor
机译:
金属氧化物半导体磁场效果三通型阵列化合物型气体化学体系
作者:
Yan Huangping
;
Guo Jun
;
Feng Yongjian
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MOSFET;
hydrogen;
oxygen;
microsensor;
17.
The design, fabrication and characteristics of micro-heaters with low consumption power using SDB SOI membranes and trench structures
机译:
使用SDB SOI膜和沟槽结构具有低消耗功率的微加热器的设计,制造和特性
作者:
Gwiy-Sang Chung
;
Sung-Kyu Choi
;
Hoy-Duck Nam
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
micro-heater;
SOI membrane;
trench;
Pt-RTD;
consumption power;
18.
Effect of annealing on mechanical and optical properties of in-situ doped SiC thin films
机译:
退火对原位掺杂SiC薄膜机械和光学性质的影响
作者:
Hoa T. M. Pham
;
Charles R. de Boer
;
Cassan C. C. G. Visser
;
Pasqualina M. Sarro
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
PECVD;
SiC;
stress;
ellipsometry;
surface micromachining;
19.
Characterization and MEMS application of sputtered TiNi shape memory alloy thin films
机译:
溅射TINI形状记忆合金薄膜的表征和MEMS应用
作者:
Hejun Du
;
Yongqing Fu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
shape-memory;
Ti-Ni based;
sputtering;
thin films;
MEMS;
20.
Wheastone-bridge type MR sensors of Si(001)/NiO(300 A)/NiFe bilayer system
机译:
惠斯通桥式Si(001)/ NIO(300A)/刀双层系统的MR传感器
作者:
Jae Sung Song
;
Won Jae Lee
;
Bok Ki Min
;
Gwiy Sang Chung
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
NiFe;
angular magnetoresistance;
MR;
exchange bias field;
single domain model;
wheastone-bridge type;
21.
Adaptive Modeling of MEMS System-level Simulation Based On Evolutionary Computation
机译:
基于进化计算的MEMS系统级仿真自适应建模
作者:
Sun Daoheng
;
Wang Chengzhi
;
Li Wenwang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
evolutionary computation;
genetic programming;
22.
Analysis of a novel MEMS electrostatic comb actuator for optical switching
机译:
用于光学切换的新型MEMS静电梳致动器的分析
作者:
Peidong Yu
;
Guozhong Wang
;
Minghua Chen
;
Shizhong Xie
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
finite element analysis(FEA);
comb drive actuator;
switch;
23.
An earthworm based miniature robot for intestinal inspection
机译:
一种基于蚯蚓的微型机器人,用于肠道检查
作者:
Chi Dongxiang
;
Yan Guozheng
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
miniature robotic endoscope;
driving principle;
motion characteristics;
24.
Fabrication of microstamps used for oligonucleotide arrays synthesis
机译:
用于寡核苷酸阵列合成的微液泵的制备
作者:
Xiao Pengfeng
;
He Nongyue
;
Liu Zhengchun
;
He Quanguo
;
Xu Jiqing
;
Lu Zuhong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
microstamp;
fabrication;
soft lithography;
self-assembled monolayers;
oligonucleotide arrays;
25.
A Gray-Scale Mask Fabrication System for Diffractive Micro Optics
机译:
衍射微光学灰度掩模制造系统
作者:
Li Shengyi
;
Lin Zhehui
;
Luo Bing
;
Dai Yifan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
diffractive optics;
spatial light modulator;
twist-roller friction drive;
gray-scale;
mask;
26.
Research on the mechanics characteristics of an electrostatic optical switch
机译:
静电光学开关的力学特性研究
作者:
Luo Yuan
;
Zhang Yi
;
Huang Shanglian
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
optical switch;
beam;
micro-mirror;
27.
A bulk micromachined vibrating wheel rate gyroscope
机译:
散装微机械振动轮速率陀螺仪
作者:
Zhang Rong
;
Gao Zhongyu
;
Chen Zhiyong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
micromachined vibrating gyroscope;
nonlinear vibration;
phase lock and amplitude control;
passive switched demodulator;
dissolve wafer process;
28.
Fabrication of Polyureathane Molecular Stamps for the Synthesis of DNA Microarray
机译:
用于合成DNA微阵列的聚盐烷分子戳的制备
作者:
Liu Zhengchun
;
He Quanguo
;
Xiao Pengfeng
;
He Nongyue
;
Lu Zuhong
;
Bo Liang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
molecular stamps;
polyurethane;
contact angle;
soft lithography;
DNA microarray;
29.
Micromachined variable capacitors with laterally positioned suspended plates
机译:
微机械导线可变电容,具有横向定位的悬挂板
作者:
Qingquan Liu
;
Qing-An Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
variable capacitors;
microactuators;
MEMS;
finite element analysis;
wireless communication;
30.
Application of liquid crystal display for binary optics
机译:
二元光学液晶显示器的应用
作者:
Zhang Huijuan
;
Wang Zhaoqi
;
Liu Hongli
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
binary optics;
spatial light modulator;
Dammann grating;
phase-mostly modulation;
31.
Design, simulation and evaluation of novel corrugated diaphragms based on backside sacrificial layer etching technique
机译:
基于背面牺牲层蚀刻技术的新型瓦楞膜的设计,仿真与评价
作者:
Chen Jing
;
Liu Litian
;
Li Zhijian
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
corrugated diaphragm;
ICP;
FEA;
couple-field analysis;
sacrificial etching;
32.
Peptide Nucleic Acid (PNA) biosensors for DNA recognition
机译:
用于DNA识别的肽核酸(PNA)生物传感器
作者:
Li Jiong
;
Wang Hong
;
Cheng Lu
;
Zhao Yujie
;
Liu Heping
;
He Nongyue
;
Lu Zuhong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
peptide nucleic acid;
PNA;
biosensor;
mismatch;
hybridization;
immobilization;
33.
Position sensor in microelectromechanical systems using a self-mixing laser diode
机译:
使用自混合激光二极管的微机电系统位置传感器
作者:
Wang Ming
;
Nie Shouping
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
self-mixing interferometry;
displacement sensing;
MEMS;
34.
Phase-shifting profilometer for measurement of the physical parameters of the fiber connector endface
机译:
相移轮廓仪测量光纤连接器端面的物理参数
作者:
Feng Qian
;
Xiangzhao Wang
;
Xuefeng Wang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
phase shifting;
fiber connector;
phase unwrapping;
35.
DEM Microfabrication Technique and its Applications in Bioscience and Microfluidic Systems
机译:
DEM微制造技术及其在生物科学和微流体系统中的应用
作者:
Di Chen
;
Fan Yang
;
Min Tang
;
Yigui Li
;
Jun Zhu
;
Dacheng Zhang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
DEM technique;
LIGA technique;
capillary electrophoresis chip;
36.
Synchrotron Light Source and Micro-lithography in Hefei National synchrotron Radiation laboratory
机译:
合肥国家同步辐射实验室的同步rotron光源和微光刻
作者:
Guo Congliang
;
Huang Siyuan
;
Zhou Yingui
;
Qian Shinan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
synchrotron radiation light source lithography;
37.
Study on signal process of gas sensor array with non-linear Principal Component Analysis
机译:
具有非线性主成分分析的气体传感器阵列信号过程研究
作者:
Wei Guangfen
;
Tang Zhenan
;
Yu Jun
;
Philip C. H. Chan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
signal process;
gas sensor array;
non-linear principal component analysis (NPCA);
38.
Fabrications of high-aspect ratio microstructure on metallic substrate
机译:
金属基材高纵横比微观结构的制造
作者:
Liu Jingquan
;
Cai Bingchu
;
Zhu Jun
;
Ding Guipu
;
Zhao Xiaolin
;
Yang Chunsheng
;
Chen Di
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
UV-LIGA;
SU-8;
high aspect ratio;
metallic substrate;
MEMS;
39.
Design and Simulation of a Multi-finger Micromechanical
机译:
多指微机械的设计与仿真
作者:
Dong Jingxin
;
Qin Junhua
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
multi-finger;
micromechanical silicon accelerometer;
folded beam;
finite element analysis (FEA);
40.
Capacitive Humidity Sensor in CMOS Technology
机译:
CMOS技术的电容湿度传感器
作者:
Xianwei Yan
;
Ming Qin
;
Qing-An Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
humidity sensor;
CMOS;
on-chip integration;
41.
Micro sensors and actuators array based on Pb(Zr, Ti)O_3 thin film for AFM data-storage
机译:
基于PB(ZR,TI)O_3薄膜的微传感器和执行器阵列用于AFM数据存储
作者:
J. Chu
;
J. Lu
;
Y. Wu
;
W. Huang
;
R. Maeda
;
T. Itoh
;
T. Suga
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
sol-gel;
electro-spray deposition;
piezoelectric sensor;
piezoelectric actuator;
scanning;
force microscopy(SFM);
and high density data storage;
42.
A novel silicon micromachined gyroscope with high Q at atmosphere
机译:
在大气中具有高Q的新型硅微加陀螺仪
作者:
Xiong Bin
;
Wang Yueling
;
Che Lufeng
;
Wang Weiyuan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
gyroscope;
angular rate sensor;
resonant sensor;
silicon micromachining technology;
43.
Fiber-optic Choline Biosensor
机译:
纤维 - 视神经胆碱生物传感器
作者:
Wang Hong
;
Cao Xiaojian
;
Jia Ke
;
Chai Xueting
;
Lv Hua
;
Lu Zuhong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
choline;
biosensor;
Ru(II) complex;
fluorescence;
44.
A polysilicon micromachined switch
机译:
多晶硅微机械开关
作者:
Zhang Zhengyuan
;
Wen Zhiyu
;
Xu Shilu
;
Li Kaicheng
;
Zhang Zhengfan
;
Huang Shanglian
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
polysilicon;
switch;
cantilever;
sacrificial layer;
45.
LD array end-pumped Nd:YVO_4 laser with an optical isolator
机译:
LD阵列终端泵浦ND:带光隔离器的YVO_4激光器
作者:
Yuanqing Huang
;
Yongming Chen
;
Limiao Zhu
;
Jinghua Zeng
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
LD array;
end-pump;
Nd:YVO_4 laser;
optical isolator;
46.
Polymer and Glass Etching by ArF and XeCl
机译:
通过ARF和Xecl蚀刻聚合物和玻璃蚀刻
作者:
Qihong Lou
;
Lin Zhang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
excimer laser;
ablation;
diffractive optical elements;
47.
Label-free DNA hybridization Detection with Molecular Beacon Immobilized in Photopolymerized Acrylamide Gel Microarray
机译:
使用在光聚合的丙烯酰胺凝胶微阵列中固定的分子标准的无标记DNA杂交检测
作者:
Wang Hong
;
Li Jiong
;
Liu Quanjun
;
Liu Heping
;
Zhu Jijun
;
Lu Zuhong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
molecular beacon;
gel-immobilized;
DNA hybridization;
label-free;
48.
Research on forces balance of micromachined accelerometer
机译:
微机械加速度计力平衡研究
作者:
Wu Yulie
;
Wu Xuezhong
;
Li Shengyi
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
capacitive;
micromachined accelerometer;
forces balance;
49.
Preparation and Performance of Si Microchannel Plate
机译:
Si MicroChannel板的制备与性能
作者:
Qingduo Duanmu
;
Jiangqua Tian
;
Ye Li
;
Tangren Dan
;
Yaohua Lu
;
Delong Jiang
;
Lichen Fu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
silicon;
microchannel plate;
aspect ratio;
dynode;
50.
A novel micromachined thermal anemometer based on laterally polysilicon diode flow sensor
机译:
基于横向多晶硅二极管流动传感器的新型微机械热风计
作者:
Qin Ming
;
Huang Qingan
;
Zhang Zhaoyong
;
Yan Xianwei
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
anemometer;
laterally polysilicon diode;
wind flow;
wind direction;
51.
Mesurement of heat capacity of SnO_2 thin films using micro-hotplate
机译:
使用微型格栅测量SnO2薄膜的热容量
作者:
Yu Jun
;
Tang Zhenan
;
Wei Guangfen
;
Philip C. H. Chan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
heat capacity;
micro-hotplate (MHP);
thin-film differential scanning calorimeter (TDSC);
52.
Surface Acoustic Wave Devices Based Wireless Measurement Platform for Sensors
机译:
基于表面声波器件的传感器无线测量平台
作者:
Han Tao
;
Shi Wenkang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
surface acoustic wave;
coupling of modes;
phase measuring;
capacitive sensor;
53.
Optimization of two-photon excitation for 3D optical data storage
机译:
3D光学数据存储两极激励的优化
作者:
Deqiang Chen
;
Yongjun Zhou
;
Wenhao Huang
;
Andong Xia
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
two-photon absorption;
multifocal multiphoton microscopy(MMM);
spatial redistribution;
54.
Atomic force microscope using a diamond tip: a tool for micro/nano-machining on single crystal silicon surface
机译:
原子力显微镜使用钻石尖端:单晶硅表面上的微/纳米加工工具
作者:
Zhao Qingliang
;
Sun Tao
;
Liang Yingchun
;
Dong Shen
;
Chen Mingjun
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
atomic force microscope (AFM);
single crystal silicon;
diamond tip;
micro/nano-machining;
FEM;
tip wear;
55.
All fiber sinusoidal phase-modulating laser diode interferometer insensitive to the intensity change of the light source
机译:
所有光纤正弦相位调制激光二极管干涉仪对光源的强度变化不敏感
作者:
Xuefeng Wang
;
Xiangzhao Wang
;
Caini Zhang
;
Danyang Yu
;
Gaoting Chen
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
displacement measurement;
interferometer;
optical fiber;
laser diode;
56.
A parallel manipulator for micro assembly and machining
机译:
用于微包装和加工的平行机械手
作者:
Wu Xuezhong
;
Wu Yulie
;
Li Shengyi
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
parallel manipulator;
micro assembly;
direct kinematics solution;
inverse kinematics solution;
57.
An integrated pressure-sensing microsystem by CMOS IC technology for barometal applications
机译:
CMOS IC技术对气压应用的集成压力传感微系统
作者:
Min-Xin Zhou
;
Qing-An Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
microsystem;
pressure sensors;
barometal applications;
58.
Electrochemical Studies of Electrodeposition of Nickel for LIGA Microstructures
机译:
LIGA微结构镍电沉积电化学研究
作者:
Ding Guifu
;
Zhang Yi
;
Liu Jingquan
;
Zhao Xioalin
;
Cai Binchu
;
Shen Tianhui
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
LIGA process;
microelectroforming;
electrochemical measurements;
deep holes;
micro gears-box;
59.
Study of surface relief of TiNiCu thin films
机译:
Tinicu薄膜表面浮雕研究
作者:
Cheng Xiulan
;
Xu Dong
;
Cai Bingchu
;
Wang Li
;
Chen Jian
;
Li Gang
;
Xu Shi
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
shape memory alloys;
thin films;
TiNiCu;
surface relief;
microstructure;
phase transformation;
60.
Micromachined tunable RF capacitor with comb structure
机译:
带梳理结构的微机械可调谐RF电容
作者:
Jin Yufeng
;
Zhang Haixia
;
Miao Min
;
Tang Kun
;
Li Zhihong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
RF MEMS;
tunable capacitor;
comb structure;
bulk Si processing;
61.
Effect of Microstructure of TiNi/Si Diaphragm on Thermal-actuating Performance
机译:
TINI / SI隔膜微观结构对热驱动性能的影响
作者:
Cheng Xiulan
;
Xu Dong
;
Chen Jian
;
Cai Bingchu
;
Ding Guifu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
shape memory alloys;
thin films;
TiNi/Si;
diaphragm;
thermal-actuation;
phase transformation;
microactuator;
micropump;
62.
A micromachined optical switch with a vertical SU-8 mirror
机译:
带垂直SU-8镜子的微机械光学开关
作者:
Liu Suyan
;
Bu Minqiang
;
Ye Xiongying
;
Zhou zhaoying
;
Zhang Dacheng
;
Li Ting
;
Hao Yilong
;
Tan Zhimin
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
MEMS;
optical switch;
surface micromachined;
SU-8;
vertical mirror;
63.
Novel CMOS two-dimensional integrated gas flow sensor
机译:
新型CMOS二维集成气流传感器
作者:
Zhaoyong Zhang
;
Ming Qin
;
Qing-An Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
integrated gas flow sensor;
thermopile;
two-dimension;
CMOS MEMS;
64.
Comparison of the silicon three main crystal planes' surface roughness after etching in aqueous potassium hydroxide solutions
机译:
氢氧化钾水溶液中蚀刻后硅三个主晶平面'表面粗糙度的比较
作者:
Yanfeng Jiang
;
Qing-an Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
anisotropic etching;
roughness;
surface activation energy;
65.
Design and fabrication of a novel micromechanical
机译:
一种新型微机械的设计和制作
作者:
Wang Congshun
;
Li Hongju
;
Fang Jing
;
Zhang Dacheng
;
Chang Sheng
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
variable optical attenuator (VOA);
fiber optics;
microelectromechanical system(MEMS)micro-optical devices;
66.
Capacitance coupling micromechanical filter
机译:
电容耦合微机械滤波器
作者:
Bin Zhang
;
Qing-an Huang
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
filter;
mechanical resonator;
coupling capacitance;
67.
High aspect ratio PMMA micro-structures fabricated by RIE
机译:
PMMA微结构由RIE制造的高纵横比
作者:
Yu Aibin
;
Ding Guifu
;
Yang Chunsheng
;
Li Changmin
;
Mao Haiping
;
Ni Zhiping
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
RIE;
PMMA;
high aspect ratio;
micro-structures;
68.
A study on the novel technique of laser shocking fine partial forming of metal sheet
机译:
金属板激光震动细部分成型新技术研究
作者:
Yongkang Zhang
;
Ming Zhou
;
Lan Cai
;
Youyi Xu
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
laser;
laser shock forming;
metal sheet;
69.
An electrochemical microactuator based on hydrogen absorbing film----The principle and first results
机译:
基于氢吸收膜的电化学微致催光剂----原理和第一效果
作者:
Ding Guifu
;
Zhang Yi
;
Yang Chunsheng
;
Zhao Xiaolin
;
Yu Aibin
;
Shen Tianhui
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
microactuator;
electrochemical;
micromachining;
hydrogen absorption film;
70.
Experiments and a new model on damping in rare air
机译:
罕见空气中的试验与新模型
作者:
Hao Yin
;
Minhang Bao
;
Heng Yang
;
Shaoqun Shen
;
Bin Xiong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
air damping;
squeeze-film model;
microstructure;
rare air;
71.
Development of micro flowmeters and microlenses using a new 3D microfabrication technique-DEM technique
机译:
使用新的3D微制造技术-DEM技术开发微流量计和微透镜
作者:
Di Chen
;
Min Tang
;
Zhimin Wang
;
Changmin Li
;
Zhiping Ni
;
Di Zhou
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
DEM technique;
micro flowmeter;
microlens;
LIGA technique;
72.
A Surface Micro machined Double Sided Touch Mode Capacitive Pressure Sensor
机译:
表面微加工双面触控模式电容压力传感器
作者:
Xu Gaopan
;
Chen Guangwen
;
Hu Guoqing
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
double sided touch mode capacitive pressure sensor;
principle;
design;
micro machined;
73.
High Sensitivity Stress-Sensitive Differential Amplifier with Gain Control and Temperature Compensation
机译:
具有增益控制和温度补偿的高灵敏度应力敏感差分放大器
作者:
Li Jingjing
;
Yue Ruifeng
;
Liu Litian
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
piezoresistive effect;
stress-sensitive differential amplifier;
MOSFET;
si;
74.
Preparation and photoluminescence of nanowire array and films of cadmium sulfide by electrodepositing in organic solvent
机译:
含有有机溶剂中纳米线阵列和硫化镉磷酸膜的制备和光致发光
作者:
X. Ju
;
L. Q. Peng
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
CdS;
nanowire array;
electroplating;
75.
Hydrophilic surface formation of PDMS stamp by microwave plasma-induced grafting
机译:
通过微波等离子体诱导的嫁接PDMS印章的亲水性表面形成
作者:
He Quanguo
;
Liu Zhengchun
;
He Nongyue
;
Xiao Pengfeng
;
Lu Zuhong
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
hydrophilic surface formation;
acrylonitrile grafting;
plasma pre-treatment;
PDMS stamps;
DNA microarray;
76.
Fabrication of a micro mold using negative PMER
机译:
使用负PMER制造微型模具
作者:
Young Ah Kwon
;
Kyoung Soo Chae
;
Dae Suk Jeoung
;
Jongyong Kim
;
Sung Moon
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
PMER;
UV-lithography;
negative photoresist;
77.
The driving property of twist-roller friction mechanism in ultra precision
机译:
超精密扭转辊摩擦机制的驱动特性
作者:
Luo Bing
;
Lin Zhehui
;
Li Shengyi
;
Dai Yifan
会议名称:
《International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics》
|
2001年
关键词:
twist-roller friction drive;
ultra precision positioning;
lead-load property;
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