SiC; metrology; characterization; micro-photoluminescence mapping;
机译:通过室温光致发光映射观察SiC晶片中的缺陷
机译:镜面投影电子显微镜观察4H-SiC晶片中的螺纹位错与表面缺陷的成对结构
机译:晶圆键合技术在SiO↓(2)结构上制备低缺陷密度3C-SiC
机译:SiC晶片中缺陷结构的微光致发光映射
机译:用深层瞬态光谱法(DLTS)表征4H-SiC的缺陷及其对器件性能的影响
机译:在(111)3C-SIC上生长的外延ALN / GAN薄膜缺陷结构研究
机译:通过微光致发光映射研究4H-SiC外延层中位错的非辐射复合
机译:使用异步加速器白光束X射线形貌表征Lely 6H-siC单晶中的缺陷结构