公开/公告号US10955350B2
专利类型
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利权人 SHOWA DENKO K.K.;
申请/专利号US201716471370
发明设计人 KOJI KAMEI;
申请日2017-12-07
分类号C30B25/04;G01N21/64;C30B29/06;C30B29/36;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/02;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:50:50