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1 绪论
1.1 引言
1.2 纳米晶硅薄膜制备以及荧光特性的研究进展
1.2.1 纳米晶硅薄膜制备方法
1.2.2 纳米晶硅薄膜的荧光研究进展
1.3 本文主要的研究内容
2 镶嵌在SiC介质中的纳米晶硅薄膜的实验制备和表征方法
2.1 薄膜的制备技术
2.1.1 磁控溅射的基本原理
2.1.2 磁控溅射仪设备简述
2.2 镶嵌在SiC介质中的纳米晶硅薄膜的制备过程
2.2.1 基片预处理
2.2.2 复合靶材的制备
2.2.3 薄膜制备过程
2.3 薄膜表征
2.3.1 薄膜厚度的测量
2.3.2 拉曼光谱(Reman ScaRering)
2.3.3 X-射线衍射谱(XRD)
2.3.4 扫描电子显微镜(SEM)
2.3.5 原子力显微镜(AFM)
2.3.6 傅里叶变换红外光谱(FTIR)
2.3.7 荧光光谱(PL)
3 镶嵌在SiC介质中的纳米晶硅薄膜性能研究
3.1 实验方案
3.2 制备工艺参数对Si1-xCx/SiC多层薄膜结构的影响
3.2.1 不同溅射气压下制备的Si1-xCx/SiC多层薄膜的AFM分析
3.2.2 不同退火温度下Si1-xCx/SiC多层薄膜的XRD和Raman分析
3.2.3 不同退火温度下Si1-xCx/SiC多层薄膜的SEM分析
3.2.4 不同退火温度下Si1-xCx/SiC多层薄膜的红外光谱分析
3.2.5 不同Si/SiC面积比下Si1-xCx/SiC多层薄膜的XRD与Raman分析
3.2.6 小结
3.3 制备工艺参数对SiI-xC~/SiC多层薄膜光致发光特性的影响
3.3.1 退火温度对Si1-xCx/SiC多层薄膜的光致发光特性影响
3.3.2 复合靶上Si/SiC面积比对Si1-xCx/SiC多层薄膜光致发光特性影响
3.3.3 小结
4 主要结论和展望
4.1 主要结论
4.2 展望
参考文献
攻读学位期间取得的研究成果
致谢