electrostatic actuation; squeeze-film damping; reduced order modeling; mixed-level modeling;
机译:考虑范德华力影响的静电致动纳米/微致动器耦合弯扭模型
机译:静电激励和卡西米尔力对扭转纳米/微型激励器的拉入不稳定性和静态行为的影响的分析模型
机译:分层流体模型与静电和机械模型的耦合,用于MEMS的动态分析
机译:高度穿孔扭转致动器的混合水平模型,耦合机械,静电和流体域
机译:静电微机电系统(MEMS)的高效混合域分析。
机译:阻尼对带分子间力的静电平行板和扭转执行器动力学行为的影响
机译:1200镜子阵列与CMOS集成,用于光子开关:机械杠杆和扭转静电驱动的应用,降低驱动电压要求并增加角倾斜