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【2h】

1200 Mirror Array Integrated with CMOS for Photonic Switching: Application of Mechanical Leveraging and Torsional Electrostatic Actuation to Reduce Drive Voltage Requirements and Increase Angular Tilt

机译：1200镜子阵列与CMOS集成，用于光子开关：机械杠杆和扭转静电驱动的应用，降低驱动电压要求并增加角倾斜

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J.H. Smith; S. Nasiri; J. Bryzek; M. Novack; J.B. Starr; H. Kwon; A. Flannery; D.L. Marx; Z. Chen; E. Sigari;
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作者单位

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年度 2002
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1. 1200 Mirror Array Integrated with CMOS for Photonic Switching:Application of Mechanical Leveraging and Torsional Electrostatic ActuationTo Reduce Drive Voltage Requirements and Increase Angular Tilt [C] . James H. Smith, Steven S. Nasiri, Janusz Bryzek, Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop . 2002

机译：集成CMOS的1200反射镜阵列用于光子开关：机械杠杆和扭转静电驱动的应用，以降低驱动电压要求并增加倾斜角

1200 Mirror Array Integrated with CMOS for Photonic Switching: Application of Mechanical Leveraging and Torsional Electrostatic Actuation to Reduce Drive Voltage Requirements and Increase Angular Tilt

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