微型流体致动器的技术水平

摘要

由于传感技术和微电子学技术的迅速发展,近年来致动技术也有新的起色,当前的主要发展方向在以下几方面:致动器的系统能力和智能致动器;灵活的致动器;分配式致动器;致动器的小型化,尤其指缩小结构尺寸和降低消耗能量。在目前已开发的微型致动器中有一类是用于流量的控制与调节,已达到工业实用的水平。而且,市场潜力很大。流体控制与调节元件主要用在以下几方面;医用注射泵,工业用阀,微机械阀,流量传感器,喷墨印刷头等。