微型流体致动器

摘要

一种微型流体致动器，包含基板、腔室层、承载层及压电组件。基板，具有至少一进气孔。腔室层形成于该基板上，并具有第一腔室、共振薄层及第二腔室。第一腔室连接至至少一进气孔。共振薄层具有中心通孔，中心通孔连通于第一腔室与第二腔室之间。承载层形成于腔室层上，并具有固定区、振动区、至少一连接部及至少一通孔。固定区形成于腔室层上。振动区位于固定区中央，并与第二腔室对应。至少一连接部连接于固定区与振动区之间。至少一通孔形成于固定区、振动区及至少一连接部之间。压电组件形成于振动区上。