Liquid phase oxidation on InAlAs and application to gate insulator of InAlAs/InGaAs HEMT lattice-matched to InP substrate

著录项

• 来源
  《Indium Phosphide Related Materials, 2008 International Conference on》||P.1-4|共4页
• 会议地点
• 作者

  Lee Kuan-Wei; Lin Hsien-Chang; Hsieh Ja-Hong; Cheng Yu-Chun; Wang Yeong-Her;

  展开▼
• 作者单位

  展开▼
• 会议组织
• 原文格式 PDF
• 正文语种
• 中图分类 工业技术;
• 关键词

  HEMT; InAlAs; InP substrate; gate insulator; liquid phase oxidation;

  机译：HEMT; InAlAs; InP衬底;栅绝缘体;液相氧化;