蒸着法によるシルセスキオキサン誘導体の高分子薄膜の作製と電気特性の評価

摘要

シルセスキオキサンは有機骨格中に酸化ケイ素ナノ粒子を持つ特異な構造から機械的な強度や熱的安定性に優れるのみならず、誘電率が高いなど特徴的な機能材として期待される。そのドライ製膜が可能となれば各種有機デバイスの開発に有用といえる。