磁增强等离子体化学气相沉积法Roll-to-Roll制备SiOx高阻隔薄膜

摘要

本文介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积方法在连续（Roll-to-Roll）系统中于有机薄膜PET表面沉积纳米SiOx高阻隔薄膜的工艺。实验研究了放电功率和镀膜速度对所沉积薄膜的阻隔性能的影响，并通过红外光谱分析薄膜的结构成分、原子力显微镜（AFM）表征表面形貌。在最佳放电参数下，得到PET表面镀SiOx薄膜的氧气透过率（OTR）值最小，为0.725cc/m2-day（原膜为130cc/m2-day）。