elemental semiconductors; etching; insulated gate bipolar transistors; power semiconductor devices; semiconductor device manufacture; silicon;
机译:通过各向异性深硅刻蚀制造多层硅结构
机译:原子层沉积增强了具有低温深反应离子刻蚀的微机械器件的快速干法制造
机译:使用MUMP,沟槽填充成型,DRIE和体硅蚀刻工艺的集成来设计和制造MEMS器件
机译:用于电力装置制造的深硅蚀刻研究
机译:结晶碳化硅的反应离子刻蚀和碳化硅器件的制造。
机译:用于MEMS谐振装置制造的Z-Cutα石英的深反应离子蚀刻
机译:硅的三维蚀刻,用于制造低维和悬浮器件