机译:瞬态电容测量评估三维大规模集成电路中铜从硅穿通孔(TSV)中的铜扩散
机译:使用微拉曼光谱和原子力显微镜对铜直通硅通孔(Cu-TSV)进行热机械表征
机译:铜硅通孔(TSV)在热退火过程中的微观结构演变和缺陷形成
机译:一种表征Cu通过硅通孔(TSV)扩散效果的新方法
机译:在Cu / SiLK(TM)金属化方案中,集成非晶钽氮化硅(TaSiN)薄膜作为扩散阻挡层。
机译:脉冲电流和预退火对通过硅通孔(TSV)铜热挤出的影响
机译:脉冲电流和预退火对通过硅通孔(TSV)铜热挤出的影响