机译:用于亚20 nm SADP工艺应用的自适应耦合等离子刻蚀系统的刻蚀Si表面的纳米力学分析
机译:采用自上而下的蚀刻工艺制造的InAs FinFET,具有纳米
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机译:SADP FinFET蚀刻的过程加载减少
机译:使用基于过程的建模来量化来自Streambank侵蚀的沉积物和潜在的负载减少,并使用基于过程的建模
机译:响应面法测定偏振列罗斯·富宇纸浆微生物负荷减少高压加工的优化
机译:Inas使用自上而下蚀刻工艺制造的Hfin = 20nm的FinFET
机译:减少鸭加工厂的废物负荷