Silver; Morphology; Surface morphology; Ions; Etching; Plasmas; Polymers;
机译:Cl-2 / BCl3 / Ar基感应耦合等离子体对外延生长AlN膜的平滑蚀刻
机译:使用SiCl_(4)/ Cl_(2)/ Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
机译:使用SiCl 4 sub> / Cl 2 sub> / Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
机译:电容耦合等离子体中光学计算机断层扫描的研制,等离子体蚀刻电感耦合等离子体
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:在浮动电位的电感耦合等离子体蚀刻期间GaAs(100)表面的形态学演变
机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析