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机译:使用SiCl_(4)/ Cl_(2)/ Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
Gallium nitride; dry etching; inductively coupled plasma; periodic structure; grating coupler;
机译:使用SiCl_(4)/ Cl_(2)/ Ar基电感耦合等离子体干法刻蚀在GaN中制备低维波导光栅
机译:基于InP的光子集成电路的电感耦合等离子体干法刻蚀制造表面光栅
机译:基于电感耦合等离子体反应离子刻蚀的GaN和InGaN基激光器结构干法刻蚀研究
机译:利用CHF3电感耦合等离子体对Ge波导进行Ge的干法刻蚀
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:利用超低压电感耦合等离子体刻蚀制备Inp异质结构中的高纵横比双槽光子晶体波导
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