MEMS; deflection equation; micro actuator; vertically-horizontally bending;
机译:具有低电压和大位移的非初始重叠块状硅梳驱动致动器
机译:硅基铁电体(Pb,La)(Zr,Ti)O-3厚膜微悬臂梁的大位移驱动和高频振动特性
机译:具有梳状电极的大位移CMOS微机械热执行器,用于电容式感应
机译:大排量低压微执行器的静态分析
机译:适用于药物输送应用的可植入式微泵系统的低功率,低电压电渗致动器。
机译:在静态环境中自动操纵磁驱动螺旋微泳器
机译:具有电容式位置感应的大位移CMOS微加工热执行器
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器