AlN; SiC buffer layer; interface structure; high-resolution TEM investigation;
机译:由HOT-WALL MOCVD在SIC上生长的N极性ALN成核层:基板取向对极性,表面形态和晶体质量的影响
机译:在(111)Si基板上生长的AlN膜和下面的3C-SiC中间层的极性
机译:MOVPE在SiC(0001)衬底上生长的异质外延AlN层中的位错
机译:3C-SiC / Si异质外延衬底上生长的AlN层的HRTEM分析
机译:硅基和金属基体上铂原子层沉积的原位表面敏感性分析
机译:Si(111)衬底上异质外延生长3C-SiC的动力学表面粗糙化和晶圆弯曲控制
机译:氢流量对Si(111)衬底上3C-SiC异质外延层生长的影响