机译:级联反应离子刻蚀/电感耦合等离子体刻蚀InGaAsP / InP双浅脊矩形环形激光光子集成电路的制备与表征
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机译:低损耗光波导应用电感耦合等离子体刻蚀的InP / InGaAsP侧壁粗糙度的表征
机译:使用电感耦合等离子体蚀刻制造的低内部损失INP / INGAASP激光二极管
机译:大功率近谐振1.55微米发射InGaAsP / InP反导二极管激光器阵列。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:利用超低压电感耦合等离子体刻蚀制备Inp异质结构中的高纵横比双槽光子晶体波导
机译:在BCl(3)基化学中的III-V半导体的电感耦合等离子体蚀刻:第二部分:Inp,InGaas,InGaasp,Inas和allnas;应用表面科学